多變量工序能力指數(shù)評(píng)價(jià)模型研究與應(yīng)用.pdf

1、隨著IC工藝設(shè)計(jì)水平的提高，目前對(duì)單個(gè)工藝參數(shù)進(jìn)行工序能力評(píng)價(jià)已不能滿足實(shí)際工藝生產(chǎn)的要求，必須考慮多個(gè)工藝參數(shù)共同對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量整體的作用。為此目的，多變量工序能力指數(shù)的應(yīng)用被提上日程。本文首先介紹了目前國(guó)際上現(xiàn)有的基于工藝規(guī)范的多變量工序能力指數(shù)定義并對(duì)其優(yōu)缺點(diǎn)作了分析和研究。然后提出了基于成品率的多變量工序能力指數(shù)模型，并且根據(jù)概率乘法定理，利用以條件數(shù)學(xué)期望和方差為參數(shù)的一維正態(tài)分布近似代替原來的條件分布，從而得出計(jì)算二維標(biāo)準(zhǔn)正態(tài)分

2、布函數(shù)值的近似公式。通過數(shù)值積分結(jié)果比較表明，近似公式計(jì)算簡(jiǎn)單，應(yīng)用方便，精度較好。從而保證了基于成品率的多變量工序能力指數(shù)模型的可行性與精確度。在對(duì)二維正態(tài)分布的點(diǎn)估計(jì)研究基礎(chǔ)之上，介紹了針對(duì)該分布的優(yōu)化擬合方法。其中介紹了樣本數(shù)據(jù)的二維正態(tài)性檢驗(yàn)方法及多維數(shù)據(jù)經(jīng)驗(yàn)分布函數(shù)的不同定義。最后，對(duì)基于主成分權(quán)重的多變量工序能力指數(shù)模型作了改進(jìn)，使之能夠更為全面的表征工藝工序能力水平。同時(shí)提出了基于因子權(quán)重的多變量工序能力指數(shù)模型。通過實(shí)例