材料微納米級表層硬度測試系統(tǒng)的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著超精密、微納米加工技術(shù)和微機電系統(tǒng)等的發(fā)展應(yīng)用，迫切需要微納米級表層質(zhì)量的檢測和評價方法。在微納米尺度下，材料會出現(xiàn)尺寸效應(yīng)和表面效應(yīng)等，其力學(xué)性能與宏觀材料有著本質(zhì)的不同，傳統(tǒng)的硬度檢測和評定方法已不再適用。納米壓痕技術(shù)是一種先進的材料微納米硬度測量方法，可以滿足對微小零件表面力學(xué)性能的檢測。
　　本文針對微小零件加工技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用需要，研制了一套用于微小零件表面力學(xué)性能檢測的電磁式微納米硬度檢測系統(tǒng)，并應(yīng)用此檢測系統(tǒng)進行

2、了納米壓痕試驗研究。
　　在比較分析了各種微位移驅(qū)動方式和檢測方式的基礎(chǔ)上，確定了電磁式微位移驅(qū)動和電容式微位移檢測方案。研制了一套微納米硬度檢測系統(tǒng)，并對試驗裝置的整體結(jié)構(gòu)進行了設(shè)計。
　　研制了微位移驅(qū)動和檢測子系統(tǒng)，描述了電磁線圈的設(shè)計參數(shù)優(yōu)化、基于運算放大器的電磁驅(qū)動電路和電容檢測電路的設(shè)計，以及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的開發(fā)。
　　評定了系統(tǒng)的工作性能，位移分辨率為11.7nm，驅(qū)動力分辨率為26.4μN，分析了影響系統(tǒng)

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