基于懸臂梁及抗體-微磁球技術的生化免疫傳感器的設計.pdf

1、本文主要研制一種新型免疫傳感器，這種免疫傳感器能從大量待檢測的生物分子群中，高分辨性及量化檢測出某種特異性生物分子。文中將采用有限元分析方法及完整的理論數(shù)學模型，設計仿真出這種基于懸臂梁結構及抗體一微磁球技術的新型生化免疫傳感器，同時實現(xiàn)傳感器的可復用性。特別是此種免疫傳感器很容易通過微細加工技術進行批量生產。同時，應用ANSYS、Matlab、Femlab等分析軟件，設計仿真出懸臂梁表面的微電磁場分布規(guī)律，從而得到實現(xiàn)抗體一微磁球技術

2、所需的微電感線圈結構。文中介紹的方法與結論，為采用U型懸臂梁結構和抗體-微磁球技術，在微通道內對特異性生物分子的分離與檢測系統(tǒng)的實現(xiàn)打下了堅實的應用基礎。 此生物傳感器的制造工藝介紹包括單晶硅工藝和絕緣體上硅工藝。因為二氧化硅埋層可以提供刻蝕終止，選用絕緣體上硅工藝制造可以大大降低懸臂梁的厚度?；诮^緣體硅的傳感器的版圖和工藝設計都是按照中國電子科技集團13所的MEMS線的工藝規(guī)范進行的。 同時本文還提出了多功能懸浮點陣