晶圓傳輸機(jī)器人關(guān)鍵控制技術(shù)研究.pdf

1、集成電路(IC)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心，是推動(dòng)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)信息化發(fā)展的高新技術(shù)之一。IC制造裝備技術(shù)是IC產(chǎn)業(yè)得以快速發(fā)展的重要基礎(chǔ)技術(shù)。晶圓傳輸系統(tǒng)是IC裝備中必不可少的組成部分，其中的晶圓傳輸機(jī)器人是晶圓傳輸系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，主要承擔(dān)著晶圓的精確定位與快速、平穩(wěn)搬運(yùn)任務(wù)。
　　基于晶圓傳輸機(jī)器人的作業(yè)需求，結(jié)合國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有技術(shù)，本文主要在晶圓傳輸機(jī)器人運(yùn)動(dòng)學(xué)與動(dòng)力學(xué)建模、快速平穩(wěn)軌跡控制、誤差標(biāo)定技術(shù)方面對(duì)其進(jìn)行了深入的研究。

2、r>　　在數(shù)學(xué)建模方面，對(duì)晶圓傳輸機(jī)器人進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)學(xué)分析及動(dòng)力學(xué)分析，建立了機(jī)器人運(yùn)動(dòng)學(xué)模型包括位置正解、位置逆解、速度及加速度模型，為誤差分析及標(biāo)定提供了理論基礎(chǔ)，并分析了機(jī)器人運(yùn)動(dòng)空間及末端點(diǎn)分辨率；基于拉格朗日方程建立了機(jī)器人動(dòng)力學(xué)模型，分析了機(jī)器人的各個(gè)關(guān)節(jié)所需的最大關(guān)節(jié)速度及關(guān)節(jié)力矩，并進(jìn)行了剛體動(dòng)力學(xué)仿真，為控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)提供了理論依據(jù)。
　　在快速平穩(wěn)軌跡控制方面，搭建了晶圓傳輸機(jī)器人控制系統(tǒng)的硬件及軟件系統(tǒng)；結(jié)合機(jī)器

3、人硬件系統(tǒng)結(jié)構(gòu)以及示教工作方式，完成了機(jī)器人路徑自動(dòng)生成的算法，并進(jìn)行了仿真；結(jié)合自動(dòng)生成的路徑，完成了末端基于時(shí)間最優(yōu)的快速平穩(wěn)軌跡控制算法，對(duì)軌跡進(jìn)行了仿真，并編寫(xiě)了相關(guān)程序。
　　在誤差分析及標(biāo)定方面，分析了影響機(jī)器人末端定位精度的主要因素，確定了機(jī)器人的誤差源，據(jù)此建立了機(jī)器人的誤差模型；基于機(jī)器人的誤差模型，分析了各個(gè)誤差源對(duì)末端定位精度影響的靈敏度，提出機(jī)器人位置精度補(bǔ)償方法；基于機(jī)器人的誤差模型，結(jié)合機(jī)器人的特點(diǎn)，確