一種反射式微型光開關的相關技術研究.pdf

1、隨著3G時代的到來，超高速、超大容量和超長距離是光通信發(fā)展的必然趨勢。光開關與光開關陣列是光纖通信系統(tǒng)重要的光器件，隨著光纖通信技術的發(fā)展，DWDM在城域網(wǎng)和接入網(wǎng)的應用對具有插/分和交換功能的光開關的需要更加迫切。論文結合光開關研究目前國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀和實際，在教育部博士學科點專項科研基金資助項目“光柵陣列－反射式微型光開關原理研究”及重慶市科委自然科學基金計劃資助項目“基于MEMS技術的閃耀光開關原理研究”的資助下，對一種反射式微型

2、光開關的相關技術進行了較為深入的研究。
　　論文主要完成了以下幾方面的工作：
　　1.對光開關發(fā)展歷史及國內(nèi)外主流技術進行了綜述；
　　2.在對微光柵陣列器件的衍射角、衍射效率和光柵參數(shù)優(yōu)化理論進行認真分析和較為深入研究的基礎上，建立了光柵柵距對可見的衍射邊緣影響的理論模型；
　　3.在分析討論的基礎上，建立了閃耀光柵的光柵常數(shù)、閃耀角、入射角、入射波長與衍射角的關系，找出了入射角限制波長帶寬的基本規(guī)律，并對確定

3、光波的工作方式進行了討論；
　　4.運用高斯光束的ABCD矩陣原理，對光開關中高斯光束在自由空間中的傳輸規(guī)律進行了分析，設計出用于光束準直擴束的微球透鏡及 V型槽自準直基座，通過實驗分析獲得光柵的閃耀角與特定的干涉級的光學特性及其相互作用的關系；
　　5.討論了光開關的制作工藝，重點分析了影響光開關分辨率、衍射效率、精度等性能的工藝參數(shù)，通過工藝的比較，光開關制造采用灰階掩模圖形轉印法，使高臺階數(shù)、精密尺寸的光開關制造工藝更