基于靜電感應的微細電火花加工方法的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著對微小器件需求的增加及MEMS技術的發(fā)展，對微細電火花加工也提出了更高的要求，提高微細電火花加工的微細化能力成為不可研究者追求的一個目標。放電凹坑的大小是決定微細電火花微細化的一個重要因素。要獲得更小的放電凹坑，必須減小單個脈沖的放電能量。在實際電火花加工過程中，微細電火花加工中一般采用的是RC脈沖電源，減小電容就能夠減小放電能量。但是由于配線之間、工具電極和工作臺之間、電極和工件之間存在分布電容，這就意味著分布電容決定著單脈沖的最

2、小放電能量及微細化的極限。
　　基于靜電感應原理的微細電火花加工的方法能夠完全避免回路中分布電容的不利影響，它利用一個給電電極，通過靜電感應以非接觸的方法對工具電極進行供電，放電能量僅由給電電極和工具電極之間、及工具電極和工件之間形成的靜電電容來決定，與以往的由分布電容來決定最小極限放電能量的微細電火花加工相比，能夠實現(xiàn)更加微細的加工。
　　本文基于靜電感應的微細電火花加工的原理，建立基于靜電感應的微細電火花加工放電回路的解

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