三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)誤差源分析與建模研究.pdf

1、　　現(xiàn)代制造業(yè)的發(fā)展對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)提出了更高的測(cè)量速度和精度要求，但測(cè)量機(jī)的動(dòng)態(tài)特性限制了測(cè)量機(jī)測(cè)量速度的提高，其根本的原因是測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)誤差對(duì)測(cè)量精度的影響。本論文以測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)特性分析為實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)，以測(cè)量機(jī)主要?jiǎng)討B(tài)誤差源分析為理論基礎(chǔ)，以測(cè)量機(jī)速度參數(shù)和空間位置為關(guān)鍵因素來進(jìn)行測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)誤差源分析與建模的研究。　　本文對(duì)測(cè)量機(jī)在觸發(fā)運(yùn)行模式下的動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究的基礎(chǔ)上，闡明了測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)誤差的來源和構(gòu)成。重點(diǎn)研究了測(cè)頭系統(tǒng)和機(jī)體結(jié)構(gòu)對(duì)

2、測(cè)量機(jī)動(dòng)態(tài)誤差的影響。對(duì)于測(cè)頭系統(tǒng)，研究了測(cè)頭系統(tǒng)動(dòng)態(tài)瞄準(zhǔn)誤差的構(gòu)成，提出測(cè)頭作用直徑的概念，并分析速度參數(shù)對(duì)作用直徑的影響并建立了理論模型。對(duì)于機(jī)體結(jié)構(gòu)，研究了機(jī)體動(dòng)變形的產(chǎn)生機(jī)理并建立機(jī)體結(jié)構(gòu)動(dòng)變形與位移誤差轉(zhuǎn)換模型，從理論上驗(yàn)證機(jī)體動(dòng)變形的空間相關(guān)性?！　”疚倪€介紹研制成功的高精度動(dòng)態(tài)誤差數(shù)據(jù)采集對(duì)比實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，用雙頻激光干涉儀作為高精度的動(dòng)態(tài)測(cè)量基準(zhǔn)，實(shí)時(shí)測(cè)量測(cè)量機(jī)運(yùn)行在不同速度下各軸的實(shí)際位移，并與光柵系統(tǒng)的讀數(shù)相比較，二者之