平面電機功率驅動器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光刻機是集成電路裝備中最重要、最復雜的核心關鍵設備，其加工芯片的精度決定了芯片的集成度與性能，直接體現(xiàn)了一個國家的制造技術水平和能力。其中平面電機為核心部件，它要求大推力、高響應、高線性度以實現(xiàn)高速精密驅動，故對驅動器提出了嚴格的要求。本課題針對光刻加工對平面電機驅動器的實際需要，提出了一種采用大功率三級管組成的平面電機伺服驅動器結構，并進行了分析與設計。
　　 本文先介紹了功率放大電路的特點，并結合平面電機對驅動器的要求給出了

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