半導體材料電阻率測試原理研究和測試儀研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、電阻率是半導體材料最重要的特性參數(shù)之一，通過對其測量，可以掌握樣品中雜質(zhì)濃度的分布情況。因此，在半導體工業(yè)中，必須快速、準確地對硅晶圓片電阻率進行測量和分檔。 本文首先詳細分析了四探針電阻率測試原理，在比較了幾種測試方法的基礎上，確立了矩形四探針法，與國內(nèi)廠家現(xiàn)在普遍采用的直線四探針法相比，用矩形四探針法可以獲得更小的測量微區(qū)，而且其游移偏差也小于直線四探針測量所產(chǎn)生的偏差。 在此基礎之上，將直流四探針測試方法與嵌入式系

2、統(tǒng)相結(jié)合，設計出數(shù)字化智能四探針電阻率測試儀，詳細說明了各部分電路的組成及功能，以及相應的軟件設計。該系統(tǒng)依據(jù)直流四探針法原理，采用由16位單片機MSP430控制的高穩(wěn)定度可編程恒流源電路和低溫漂、低噪聲可編程放大器電路，以及自動量程轉(zhuǎn)換電路等部分構(gòu)成測量回路，使得該儀器能夠自動識別待測樣品的電阻率，并根據(jù)電阻率大小自動切換量程，既可以獨立工作，又可以通過RS-232接口與PC機通信，大大提高了該測試儀的數(shù)據(jù)處理能力和測量精度，而且操作

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