SrTiO-,3-厚膜傳感器的摻雜研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文對溶膠一凝膠法(簡稱Sol-Gel法)的制備工藝進行了系統(tǒng)研究，并成功獲得制備SrTi<,0.8>Mg<,0.2>O<,2.8>的工藝：運用固相合成法制備了以SrTiO<,3>為基體，La、Mg、Al、Fe和Cr等多種元素復合摻雜的Sr<,1-x>La<,x>(Ti<,1-y> M<,y?)O<,z>多晶氧化物半導體，其中，M為替代Ti位的摻雜物，包括Mg、Al、Fe和Cr等多種元素；同時在粉體中加入玻璃相B(硼)。并測試了樣品在6

2、00℃～800℃內不同氧分壓下的阻-溫特性和氧敏特性，對結果作了合理的解釋和分析。 利用掃描電鏡(SEM)和X光衍射(XRD)等現(xiàn)代分析手段對實驗制備的氧敏材料進行了表征。XRD實驗顯示固相合成法和溶膠-凝膠法分別在1250℃和800℃得到了理想的鈣鈦礦結構，SEM實驗證明溶膠一凝膠法制得的粉體粒徑均勻，且尺寸比固相法制得的粉體小。 實驗結果表明：在SrTiP<.3>中鉻離子替代鈦位可使SrTiO<,3>實現(xiàn)P型摻雜；C

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