基于數(shù)字全息顯微術的三維表面形貌測量技術研究.pdf

1、隨著機械工業(yè)、半導體工業(yè)和生物技術的發(fā)展,超精密加工、納米技術、微機電系統(tǒng)、活體細胞工程等都對微納尺度的三維表面形貌測量提出了更高的要求,需要具有實時動態(tài)觀測特性、高分辨率及大量程的三維表面形貌精密測量儀器。
　　數(shù)字全息術是一種基于光波衍射和干涉原理的成像與測量技術,它可以同時獲取物光波的振幅和相位信息,得出被測物的三維形貌,同時具有非接觸、實時、大景深、高分辨率和相襯成像的優(yōu)點,能廣泛應用于微納表面測量、微機電結構特性分析、微

2、粒檢測、細胞生物學等方面。
　　本文圍繞數(shù)字全息顯微三維表面形貌精密測量技術展開研究,主要工作有:
　　分析了數(shù)字全息記錄與重建過程的物理光學原理,進行了數(shù)字全息的數(shù)學建模。
　　基于建立的數(shù)學模型,對同軸數(shù)字全息術和離軸數(shù)字全息術的記錄與再現(xiàn)過程進行了軟件仿真。
　　根據(jù)采樣定理和頻譜分離要求,分別推導了離軸數(shù)字全息記錄光路的各種參數(shù)設定條件。
　　開展了離軸數(shù)字全息記錄光路的測試實驗,驗證了離軸數(shù)字全息