無塵室等級(jí)1

1、無塵室等級(jí)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)，無塵室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)是什么？(2009081013:56)依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalAtard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如：10級(jí)在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆立方

2、英尺），1級(jí)在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。無塵室等級(jí)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)定義溫州康鼎凈化工程有限公司是從事環(huán)境控制系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)與施工的專業(yè)技術(shù)企業(yè)提供凈化工程、無塵車間、超凈車間、潔凈工程、風(fēng)淋室、無塵廠房、無菌廠房、醫(yī)院潔凈手術(shù)室、光電凈化廠房等高新技術(shù)企業(yè)10萬10級(jí)空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、檢測(cè)綜合性成套服務(wù)。他們公司

3、：溫州康鼎凈化工程有限公司聯(lián)系電話:18968888889公司地址：溫州市鹿城區(qū)炬光園炬新路21號(hào)2樓工廠地址：溫州市鹿城區(qū)炬光園炬新路21號(hào)一、無塵室定義將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無法完全清除之灰塵。無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用Bio

4、logicalCleanRoo（BCR）。二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級(jí)現(xiàn)今一般多奉行與美國(guó)所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格（美國(guó)航空署5340.2規(guī)格）。其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級(jí)○○]。例如：空氣中含有10個(gè)0.5以下時(shí)，表示為“等級(jí)10”。二自然界大氣中通常含有300000~300

5、00000個(gè)微粒子。三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無塵室清潔度，共分為8個(gè)等級(jí)一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí)，分為等級(jí)1、2販8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1；百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3，一次類推。21世界，最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對(duì)地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對(duì)商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下

6、。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)GB500732001大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pcm3)0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm11022100241043100023710235841000023701020352835100000237001020035208322961000000237000102000

7、352008320293735200083200293083520000832000293009352000008320000293000三、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)無塵車間標(biāo)準(zhǔn)控管之項(xiàng)目1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3.溫度和濕度之控制。4.壓力之調(diào)節(jié)。5.有害氣體之排除。6.結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。7.靜電之防制。8.電磁干擾預(yù)防。9.安全因素之考慮。10.節(jié)能之考量。四、無塵車間無塵車間標(biāo)準(zhǔn)分類1.亂流式(Turbu

8、lentFlow)：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1000100000級(jí)。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高無塵車間等級(jí)。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須

9、耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。2.層流式(Laminar)：層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：(1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比