掃描電子顯微鏡的操作步驟和注意事項(xiàng) 心得

1、掃描電子顯微鏡的操作步驟與注意事項(xiàng)一、樣品制備將分散好的樣品滴于銅片上，干燥后將載有樣品的銅片粘在樣品座上的導(dǎo)電膠帶上（對(duì)于大顆粒樣品可直接將樣品粘在導(dǎo)電膠帶上）。對(duì)于導(dǎo)電性不好的樣品必須蒸鍍導(dǎo)電層，通常為蒸金：將樣品座置于蒸金室中，合上蓋子，打開(kāi)通氣閥門(mén)，對(duì)蒸金室進(jìn)行抽真空。選擇好適當(dāng)?shù)恼艚饡r(shí)間，達(dá)到真空度定好時(shí)間后加電壓并開(kāi)始計(jì)時(shí)，保持電流值，時(shí)間到后關(guān)閉電壓，關(guān)閉儀器。取出樣品。（注意：打開(kāi)蒸金室前必須先關(guān)閉通氣閥門(mén)，以防液（注意

2、：打開(kāi)蒸金室前必須先關(guān)閉通氣閥門(mén)，以防液體倒流。體倒流。）二、掃描電鏡的操作1.安裝樣品1)按“Vent”直至燈閃，對(duì)樣品交換室放氮?dú)?，直至燈亮?)松開(kāi)樣品交換室鎖扣，打開(kāi)樣品交換室，取下原有的樣品臺(tái)，將已固定好樣品的樣品臺(tái)，放到送樣桿末端的卡抓內(nèi)（注意：樣品高度不能超過(guò)樣品臺(tái)（注意：樣品高度不能超過(guò)樣品臺(tái)高度，并且樣品臺(tái)下面的螺絲不能超過(guò)樣品臺(tái)下部凹槽的平面）高度，并且樣品臺(tái)下面的螺絲不能超過(guò)樣品臺(tái)下部凹槽的平面）；3)關(guān)閉樣品交換

3、室門(mén)，扣好鎖扣；4)按“EVAC”按鈕，開(kāi)始抽真空，“EVAC”閃爍，待真空達(dá)到一定程度，“EVAC”點(diǎn)亮；5)將送樣桿放下至水平，向前輕推至送樣桿完全進(jìn)入樣品室，無(wú)法再推動(dòng)為止，確認(rèn)“Hold”燈點(diǎn)亮，將送樣桿向后輕輕拉回直至末端臺(tái)階露出導(dǎo)板外將送樣桿豎起卡好。（注意：推拉送樣桿時(shí)用力必須沿送樣桿軸線(xiàn)方向，以防損（注意：推拉送樣桿時(shí)用力必須沿送樣桿軸線(xiàn)方向，以防損壞送樣桿）壞送樣桿）2.試樣的觀察（注意：軟件控制面板上的背散射按鈕千萬(wàn)

4、不能點(diǎn)，以防損（注意：軟件控制面板上的背散射按鈕千萬(wàn)不能點(diǎn)，以防損壞儀器）壞儀器）1)觀察樣品室的真空“PVG”值，當(dāng)真空達(dá)到9.0105Pa時(shí)，打開(kāi)“Maintenance”，加高壓5kv，軟件上掃描的發(fā)射電流為10μA，工作距離“WD”為8mm，掃描模式為“Lei”（注意：為減少干擾，有磁性樣品時(shí)，工作（注意：為減少干擾，有磁性樣品時(shí)，工作距離一般為距離一般為15mm左右）左右）；2)操作鍵盤(pán)上按“LowMag”、“QuickVie