電子散斑干涉載頻調制形貌測量技術研究.pdf

1、隨著科學技術的進步和計算機技術的飛速發(fā)展，三維形貌測量技術在科研、醫(yī)學診斷、工程設計、刑事偵查現場痕跡分析、自動在線檢測、質量控制、機器人及許多生產過程中得到越來越廣泛的應用，同時精度要求越來越高。例如，汽車車身、飛機機身、輪船船體等加工制造中的在線檢測。由于物體三維形貌測量技術具有重要的工業(yè)應用價值，物體三維形貌測量技術備受各國科技人員所關注。采用光學法進行三維形貌測量，具有非接觸和全場測量的優(yōu)點，現在已成為國內外研究的重點，并且提出

2、了多種不同的測量原理。 散斑干涉測量技術是光學測量技術的一個重要分支，并且由于它具有非接觸，高精度和全場測量等優(yōu)點，一直為科研人員所重視。在過去的30多年中，除了對散斑場自身的特性和規(guī)律給予深入的研究外，有多種散斑測量技術逐漸發(fā)展和建立起來，并在不同的領域中獲得了廣泛的應用。并且隨著激光技術，計算機技術和圖像處理技術的進步，在散斑干涉測量中出現的問題也得以解決。例如在散斑干涉中采集的散斑圖中存在各種各樣的噪音，相位展開等問題得到

3、很好的解決。因此散斑干涉用于物體形貌的測量也得到了發(fā)展，已經成為一種三維物體形貌測量的方法。 本文就電子散斑干涉結合傅立葉變換法用于物體形貌測量進行了研究與討論，主要內容是： 1.回顧了散斑干涉計量的發(fā)展歷史；系統(tǒng)介紹了電子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相測量技術。 2.回顧了物體形貌測量的發(fā)展過程，介紹了幾種形貌測量的方法，重點介紹了投影柵線法和散斑干涉法。 3.利用散斑干涉測量的特點和傅立葉變換的特點