加速度傳感器批量測試平臺(tái)技術(shù)研究.pdf

1、MEMS加速度傳感器已廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè)、工業(yè)過程控制、醫(yī)用保健、消費(fèi)類電子及環(huán)保等領(lǐng)域,年需求量超過1000萬套。但是,對(duì)其的標(biāo)定測試目前還是單件、手動(dòng)來完成,標(biāo)定測試效率低,時(shí)間長,而且人工費(fèi)用高,測試存在不穩(wěn)定的差錯(cuò)。論文圍繞設(shè)計(jì)制造能在不同溫濕度環(huán)境下對(duì)批量MEMS加速度傳感器自動(dòng)一次完成靜態(tài)重力場翻滾實(shí)驗(yàn)和動(dòng)態(tài)振動(dòng)實(shí)驗(yàn)設(shè)備展開,設(shè)計(jì)完成了適用于該設(shè)備的批量MEMS加速度傳感器重力場翻滾實(shí)驗(yàn)自動(dòng)測試平臺(tái)。
　　論文首先介紹

2、了加速度傳感器的發(fā)展歷史、原理以及測試方法,總結(jié)了現(xiàn)有加速度傳感器重力場翻滾實(shí)驗(yàn)設(shè)備的實(shí)現(xiàn)方法。在此基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了平臺(tái)的整體實(shí)現(xiàn)方案;設(shè)計(jì)了批量MEMS加速度傳感器的槽形加載機(jī)構(gòu)、步進(jìn)伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)360°內(nèi)多位置精確定位機(jī)構(gòu)、步進(jìn)電機(jī)和滾珠絲杠組成的直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu);利用SolidWorks軟件對(duì)平臺(tái)進(jìn)行了三維模擬裝配、關(guān)鍵零件的有限元分析和運(yùn)動(dòng)仿真。
　　其次,論文設(shè)計(jì)完成了平臺(tái)的控制系統(tǒng)。通過分析平臺(tái)控制系統(tǒng)要求和各種控制器的

3、特點(diǎn),選擇三菱FX3U型PLC作為平臺(tái)控制系統(tǒng)的控制器;選擇VB編寫計(jì)算機(jī)控制軟件;完成了計(jì)算機(jī)與PLC通信模塊硬件電路的設(shè)計(jì);完成了PLC控制步進(jìn)電機(jī)硬件電路的設(shè)計(jì);最后,完成對(duì)平臺(tái)控制軟件的編寫。
　　最后,對(duì)測試平臺(tái)實(shí)物進(jìn)行了調(diào)試,對(duì)調(diào)試過程中遇到的問題以及解決方法作了簡要介紹;給出了用論文中設(shè)計(jì)的平臺(tái)測試時(shí)可能產(chǎn)生的誤差以及減小誤差的方法;用該平臺(tái)對(duì)某型號(hào)的加速度傳感器進(jìn)行了測試,對(duì)測試得到的數(shù)據(jù)和廠家提供的參數(shù)進(jìn)行對(duì)比,