薄膜晶體管器件自動(dòng)化電學(xué)表征系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著薄膜晶體管（thin film transistor，TFT）器件在平板顯示以及其它大面積電子方面的廣泛應(yīng)用，有關(guān)TFT器件技術(shù)的研究獲得越來(lái)越多的重視。在TFT器件的研究過(guò)程中，必須通過(guò)測(cè)量系統(tǒng)的量測(cè)獲得其準(zhǔn)確的特性參數(shù)，才能掌握該TFT的工作特性。因此，TFT的測(cè)量系統(tǒng)在其研究過(guò)程中非常重要。
　　TFT電學(xué)表征所需測(cè)試的最低電流信號(hào)在皮安（pA:10-12A）數(shù)量級(jí)。而且，為獲得完整的特性信息，測(cè)量過(guò)程中需要多種偏置方式

2、。因此，理想的測(cè)試系統(tǒng)要具備低漏電流、高可靠性、多測(cè)試模式切換方便以及易于安放、低成本等特征。目前常用的基于探針臺(tái)的測(cè)試方法，操作繁瑣，測(cè)量效率低，而且漏電流低的高質(zhì)量探針臺(tái)價(jià)格高昂、體積和重量較大。本課題通過(guò)優(yōu)化印刷電路板（printed circuit board，PCB）的設(shè)計(jì)，制作出滿(mǎn)足TFT低電流測(cè)試要求的電路板，然后選擇不引入干擾的電控開(kāi)關(guān)器件，設(shè)計(jì)完成一套可由電腦程序控制的TFT自動(dòng)電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)。整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)由測(cè)試夾具、自

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