TiO-,2--Ag-TiO-,2-多層膜結構的光學和電學性質研究.pdf

1、使用磁控濺射方法制備了一系列金屬介質多層膜.對于不同的金屬和介質膜材料的結構和光學性質進行了分析,在此基礎上,主要研究了TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜的光學和電學性質.對于TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜結構光學性質的研究具有實際應用價值,主要在光學顯示領域獲得大量應用,因此研究工作主要集中在可見光波段,對多層膜的透射譜特性進行測量和分析.采用不同金屬和介質材料制備了"介質/金屬/介質"多層膜結構,比較它們的透射譜

2、,發(fā)現(xiàn)使用Ag和TiO<,2>組成的多層膜結構能在可見光區(qū)獲得最高的透射率.實驗中,測量了TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜結構的透射譜,與單層TiO<,2>/襯底、Ag/TiO<,2>/襯底、以及單層Ag/襯底結構的透射譜進行了比較,對金屬介質周期結構對多層膜整體透射性能的影響進行了研究.當改變Ag層厚度時,測量發(fā)現(xiàn)多層膜樣品的透射率和透射峰的位置都隨Ag層厚度而有顯著變化,而多層膜中兩層TiO<,2>的厚度在幾個納米范圍內的

3、變化對樣品整體透射譜的影響較小.試驗中,選擇合適的Ag和TiO<,2>層厚度,可以使得TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜在500-700nm的可見光范圍內透射率超過90﹪.研究中嘗試獲得了與TiO<,2>/Ag/TiO<,2>多層膜品質常數(shù)有關的各膜層最佳厚度.如上所述,改變多層膜中Ag層和TiO<,2>的厚度,會同時改變樣品的透射率和面電阻.以Ag層為例,增加Ag層厚度,使得多層膜的面電阻降低,但同時透射率也隨之降低.所以可將