柔性ITO透明導電薄膜的研究.pdf

1、透明導電氧化物(TCO)薄膜兼具透明性和導電性兩大特性，能廣泛應用于平面顯示器、太陽能電池、節(jié)能視窗、透明電磁屏蔽等領域。當前，顯示技術越來越趨向于柔性化、超薄化，這大大促進了人們對柔性TCO薄膜的研究，其中在低軟化點的柔性襯底上低溫制備優(yōu)質的ITO薄膜，已經成為國際上的熱門研究課題。 本文通過對柔性ITO薄膜的特性、制備工藝研究，設計出并低溫制備出了透光率大于75％、電阻率為8×10<'-5>Ω·cm的SiO<,2>/ITO/

2、Ag/ITO膜系的PET基柔性ITO薄膜。論文取得的成果和創(chuàng)新點主要有： 1．針對低溫濺射難以生成低電阻率的ITO薄膜這一難題，通過理論分析和實驗研究，創(chuàng)造性地提出了“在線紫外輻照”提高反應氣體氧在低溫下活性的工藝路線，大幅度降低了ITO的電阻率也提高了ITO薄膜在可見光區(qū)透射率，為PET等柔性基底上低溫生長優(yōu)質的TCO薄膜提出了一種十分有效的方法。這一工藝方法有較大的理論指導意義和實用價值，在國內外尚未見報道。 2．針

3、對有機襯底在濺射時容易裂解、放氣大的問題，提出了在PET襯底上先鍍覆SiO<,2>阻擋層的結構方案，有效地阻止了有機裂解物對ITO薄膜的污染，也阻擋了有機襯底的放氣，并增強了薄膜的附著力。這為柔性ITO技術提出了一種新穎的結構。 3．為了進一步提高薄膜的電導率，我們根據(jù)薄膜光學理論并通過對納米金屬薄膜特性的研究，設計出SiO<,2>/ITO/Ag/ITO的膜系結構，在襯底不加熱的工藝條件下大大提高了薄膜的電導率，同時，通過理論計