基于橢偏光譜儀的石英晶體參數(shù)研究.pdf

1、隨著橢偏光譜測量技術(shù)的不斷發(fā)展,橢偏光譜儀作為一種測量工具已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用于測量薄膜材料和塊狀材料的光學(xué)參數(shù)。橢偏光譜測量技術(shù)與傳統(tǒng)的偏光測量技術(shù)相比具有測量速度快、測量精度高、數(shù)據(jù)測量重復(fù)率高、不用與樣品接觸對樣品造成的破壞性最小等特點。利用橢偏光譜儀可以快速得到從紅外、可見光到紫外光的寬波段內(nèi)D和Y各自隨波長變化的色散曲線,光學(xué)材料或器件的很多光學(xué)參數(shù)都間接的與 D和 Y有一定的關(guān)系,通過對D和Y圖譜的分析可以得到樣品一系列的參數(shù)例

2、如:薄膜厚度,復(fù)合膜中各成分的組分,介電常數(shù),晶體雙折射率等。石英晶體是常用的光學(xué)晶體材料,常用于制造波片、棱鏡等與位相、偏振等相關(guān)的光學(xué)元器件,因而石英晶體以及由其制成的光學(xué)器件的光學(xué)參數(shù)的精密測量具有重要的現(xiàn)實意義。
　　本文從以下幾個方面展開研究:
　　首先,橢偏光譜儀可以直接、快速的給出偏振光通過樣品作用后 P、S兩方向偏振光位相差,我們用瓊斯矩陣對這一過程進(jìn)行分析,找到一種快速、準(zhǔn)確判斷石英波片光軸方向的新方法。<