氪—鹵素準分子紫外光源的特性研究.pdf

1、本文系統(tǒng)地研究了同軸圓柱型的KrCl*，KrBr*準分子紫外光源，著眼于電源波形、管壁厚度和氣體參數(如總氣壓、鹵素比例)等對準分子燈效率和光譜的影響，確定了其最佳效率及其對應的放電參數。
　　基于介質阻擋放電(DBD)的同軸KrCl*準分子燈內管內外徑分別為14和16mm，外管外徑為40 mm，壁厚分別為1.2，1.5，2.0 mm。這三種壁厚的燈都充上同樣的氣體成分，即總氣壓為200 mbar的氯氣(Cl2)和氪氣(Kr)，其

2、中氯氣占1.0％。三種壁厚的燈分別用正弦、方波和脈沖電源來驅動。222 nm的輻射功率通過Hamamatsu H8025-222紫外輻照度計探頭測量KrCl*準分子燈中心的輻照度，并由Keitz公式計算得出；而燈的輸入電功率則通過高壓探頭和電流互感器結合示波器積分得出。結果表明，1.2 mm壁厚的KrCl*準分子燈在三種電源驅動下效率都是最高的，最佳效率為脈沖電源驅動下達到9.2％。文中討論了電壓、頻率、管壁厚度、管壁溫度以及石英管的透

3、過率對效率的影響，圖解說明了微放電的絲狀隨著電壓波形變化，并對功率測量和輻照度測量等進行了誤差分析。
　　在確定KrCl*準分子燈最佳管壁厚度后，制作了各種氣體參數(如總氣壓和Cl2比例)的KrCl*準分子燈，研究了這些準分子燈在三種電源驅動下輻射強度、效率、光譜等的變化。確定了KrCl*準分子燈的最佳放電參數：脈沖電源，總氣壓200 mbar和Cl2比例0.5％，對應的最大效率為11.4％。另外，KrCl*準分子燈的222 nm

4、輻射譜線的半值全寬度(FWHM)隨著氣壓升高而變窄，但與Cl2比例的變化關系不大。
　　制作了同軸KrBr*準分子燈，用正弦電源和脈沖電源驅動，通過改變總氣壓、Br2比例等參數，研究了在不同參數下KrBr*準分子燈輻射強度、效率、光譜等的變化。207 nm的輻射功率通過Hamamatsu H8025-207紫外輻照度計探頭測量KrBr*準分子燈中心的輻照度，再由Keitz公式計算得出；而燈的輸入功率則比較了“電壓電流積分法”和“李