硅微振動陀螺儀驅動控制技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文以本課題組自行設計的硅微角振動單自由度陀螺儀為研究對象,圍繞如何提高驅動穩(wěn)定性的目的,對硅微振動陀螺儀的驅動控制技術及相關問題進行了研究。 針對硅微振動陀螺儀的工作特點,本文首先研究了硅微梳齒驅動器的工作特性,提出了驅動控制的要求。結合驅動控制的特點,本文還討論了限制硅微振動陀螺儀測量能力的各種噪聲和誤差因素以及相應的消除和抑止方法,進而分析比較了硅微振動陀螺儀中的各種微小電容檢測技術。在大量的開環(huán)驅動實驗基礎上,本文討論了

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