紫外可見望遠系統(tǒng)濾光膜的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本課題研究的是應用于紫外可見望遠系統(tǒng)的濾光膜，為滿足濾光膜的要求，在薄膜設計中對幾種常用紫外薄膜材料進行了對比研究，選定高低折射率材料分別為HfO2和MgF2。以膜系設計理論為基礎，結合針法優(yōu)化，通過膜堆的疊加展寬了反射帶，設計出濾光膜的膜系。在薄膜制備中，通過多次實驗，優(yōu)化各項工藝參數減少吸收情況，使用離子輔助沉積提高了成膜質量，并通過對工藝參數精確控制，提高了膜厚的控制精度。
　　在φ210mm的石英基底上制備254nm反射率

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