激光微調(diào)技術(shù)在激光調(diào)阻機(jī)中的應(yīng)用研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文綜述了厚薄膜電阻微調(diào)的常用方法及其原理，重點(diǎn)介紹了激光微調(diào)技術(shù)在厚薄膜電阻微調(diào)中的應(yīng)用，引入了薄膜電阻激光微調(diào)的理論模型，依據(jù)此模型，分析了在進(jìn)行電阻微調(diào)過程中，激光參數(shù)的選擇原則：為保證調(diào)阻質(zhì)量，應(yīng)使激光能量傳遞到襯底；同時，為不使襯底產(chǎn)生龜裂，應(yīng)控制到達(dá)襯底的激光能量。并全面地闡述了激光調(diào)阻機(jī)的構(gòu)成及工作原理，對有關(guān)主要單元進(jìn)行了細(xì)致的設(shè)計(jì)分析，給出了設(shè)計(jì)參數(shù)。 介紹了微調(diào)電阻常用的形狀以及調(diào)阻路徑，總結(jié)了影響激光調(diào)阻質(zhì)

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