基于針孔式點(diǎn)衍射干涉儀的無鏡成像算法研究.pdf

1、針孔式點(diǎn)衍射干涉儀利用針孔衍射的理想球面波作為參考波面，具有常規(guī)商用型斐索干涉儀不可比擬的優(yōu)勢(shì)，測(cè)量準(zhǔn)確度可達(dá)到亞納米量級(jí)。點(diǎn)衍射干涉儀中的干涉成像系統(tǒng)的制造成本較高，且不可避免會(huì)引入了誤差（相干噪聲等）。因此，在針孔式點(diǎn)衍射干涉儀中去除干涉成像系統(tǒng)，研究無鏡成像技術(shù)是解決成像系統(tǒng)這一難點(diǎn)的一個(gè)重要途徑。
　　無鏡成像技術(shù)是基于CCD處采集的波面，對(duì)其逆向傳輸至被測(cè)件位置或者被測(cè)件共軛位置，對(duì)被測(cè)件面形進(jìn)行恢復(fù)。本文提出一種基于針

2、孔式點(diǎn)衍射干涉儀的無鏡成像算法，去除其干涉成像系統(tǒng)，從CCD直接采集得到的干涉圖復(fù)原求解被測(cè)件面形。通過構(gòu)建虛擬透鏡建立與被測(cè)件共軛關(guān)系的虛擬像面，將CCD處波面的復(fù)原簡(jiǎn)化成CCD處波面至虛擬像面的波面反演。
　　仿真階段，對(duì)無鏡成像算法流程進(jìn)行模擬。分析無鏡成像算法中的距離誤差因素，討論無鏡成像算法中的距離誤差對(duì)不同NA的球面元件的面形誤差復(fù)原影響。針對(duì)距離誤差提出了一種基于無鏡成像算法的距離迭代方法，以每次復(fù)原干涉圖所占像素?cái)?shù)