鍍膜小孔點(diǎn)衍射干涉儀的設(shè)計(jì)與調(diào)試.pdf

1、球面面形的高精度檢測(cè)一直是光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域的難題,目前我國(guó)尚未建立國(guó)家和國(guó)防最高計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。傳統(tǒng)的干涉儀精度受限于標(biāo)準(zhǔn)球面鏡頭的精度,遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足目前光刻鏡頭至少λ/1000的精度要求,而點(diǎn)衍射干涉儀利用小孔衍射產(chǎn)生出來(lái)的理想球面波作為參考波,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)面形的絕對(duì)測(cè)量。
　　 為此,本文對(duì)不同類型點(diǎn)衍射干涉儀的優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行了分析和總結(jié),選取鍍膜小孔點(diǎn)衍射干涉儀作為研究方向,并以其實(shí)驗(yàn)裝置的搭建為核心展開(kāi)研究。然后,分析了鍍膜小孔點(diǎn)衍射干

2、涉儀可能存在的誤差和提出了相應(yīng)的解決方案,通過(guò)白光輪廓儀測(cè)試了小孔衍射板的小孔直徑、鍍膜厚度等主要參數(shù)。提出了干涉儀實(shí)驗(yàn)裝置的設(shè)計(jì)方案、對(duì)其中的關(guān)鍵組件進(jìn)行了分析,最終完成了對(duì)干涉儀實(shí)驗(yàn)裝置的搭建。在完成對(duì)對(duì)干涉儀的調(diào)試之后,對(duì)口徑80mm,焦距300mm的凹球面鏡進(jìn)行了測(cè)量,得到了其干涉圖。
　　 在鍍膜小孔點(diǎn)衍射干涉儀實(shí)驗(yàn)裝置的基礎(chǔ)上,結(jié)合夏克哈特曼波前傳感器和Zygo干涉儀對(duì)小孔衍射出來(lái)的球面波質(zhì)量進(jìn)行了測(cè)試,得到了小孔衍