基于衍射光初相位測量的光柵曝光拼接誤差檢測研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高質(zhì)量大口徑脈沖壓縮光柵是高功率脈沖壓縮系統(tǒng)中的重要光學元件。但其制作難度大、成本高，這些因素制約著大口徑脈沖壓縮光柵的研制。針對國內(nèi)目前的技術狀況，全息光柵曝光拼接技術是研制大口徑光柵的最佳方案。針對潛像拼接在大口徑拼接中存在的對準困難和成功率低等問題，課題組提出了逐區(qū)曝光和逐區(qū)刻蝕拼接方案。但是在拼接結束檢測拼接誤差時，這兩種拼接方法都會因為槽形差異產(chǎn)生衍射波面錯位，疊加到橫向位移誤差引起的相位變化中，從而干擾橫向位移誤差的判斷。因

2、此本論文主要解決不同形貌光柵的衍射光初相位的計算問題以及衍射光初相位在光柵拼接誤差檢測中的應用問題。為此本文主要進行了以下工作：
　　1、介紹了大口徑光柵的研究背景和國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀，敘述了曝光拼接原理，介紹了逐區(qū)顯影和逐區(qū)刻蝕拼接方法的工藝流程和對準拼接方法，提出理論計算衍射光相位差的必要性。
　　2、基于嚴格耦合波理論編寫了衍射光相位的計算程序，分別從理論和實驗上驗證了計算程序的正確性。
　　3、根據(jù)相位分布的規(guī)律

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