小閃耀角凸面閃耀光柵的研究與制備.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩69頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、本文圍繞小閃耀角凸面閃耀光柵的制作方法,對離子束束散角和涂層修整槽形展開了理論和實驗研究,主要包含以下幾方面的內容:
　　首先介紹了凸面閃耀光柵的意義和國內外凸面光柵的研究進展,綜合敘述了離子束刻蝕技術和Kaufman離子源系統(tǒng)的工作原理。深入研究了光刻膠、K9玻璃和石英三種光學材料的刻蝕特性,以氬氣為工作氣體,得到了三種材料刻蝕速率與入射角度的擬合方程,為離子束束散角的研究提供了基礎。
　　詳細介紹了離子束束散角的計算以及

2、束散角對刻蝕閃耀角的影響。提出了閃耀光柵閃耀角達到4°以后很難進一步減小可能是受離子束束散角影響的設想,并進行了理論分析和實驗驗證。通過遮擋刻蝕改良離子源準直性,在平面基底和凸面基底上制得了閃耀角2.8°和3.4°的閃耀光柵,在原有工藝的基礎上,將閃耀角降低。
　　通過對已有閃耀角4°左右的閃耀光柵進行旋轉涂布和提拉涂布光刻膠,進一步降低閃耀角。驗證了不同旋涂、提拉速度和光刻膠溶劑濃度對最終實驗結果的影響。得到了閃耀角減小量與涂層

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論