基于DMD動態(tài)掩膜微立體光刻系統(tǒng)的開發(fā)與研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩57頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、三維復(fù)雜結(jié)構(gòu)微器件對于實現(xiàn)微機電系統(tǒng)的功能至關(guān)重要，但是加工三維復(fù)雜微結(jié)構(gòu)對于傳統(tǒng)的微細(xì)加工技術(shù)是一個挑戰(zhàn)。面投影微立體光刻技術(shù)通過光引發(fā)光敏樹脂固化，逐層制造并多層疊加來完成結(jié)構(gòu)復(fù)雜、高分辨率、小尺寸的三維結(jié)構(gòu)的制造，被認(rèn)為是目前最有前景的微細(xì)加工技術(shù)之一。
　　 本文介紹了一套自行開發(fā)的動態(tài)掩膜面投影微立體光刻系統(tǒng)，系統(tǒng)中采用數(shù)字微反射鏡(digital micro-mirror device，DMD)作為動態(tài)掩膜發(fā)生器，利

2、用LED陣列作為光源，光源的功率以及波長可以滿足光固化的要求，設(shè)計新的樹脂槽和涂覆系統(tǒng)適用粘度大的復(fù)合納米材料的加工。除了系統(tǒng)的設(shè)計與搭建以外，文中介紹了自行開發(fā)的基于AutoCAD的CAD模型的直接切片分層程序、基于LabVIEW設(shè)計的生成加工文件程序以及系統(tǒng)控制程序。
　　 文中分析得到微立體光刻系統(tǒng)加工分辨率由光學(xué)系統(tǒng)的分辨率以及光敏樹脂的特性共同決定，通過測量微立體光刻系統(tǒng)中光學(xué)系統(tǒng)的分辨率以及光敏樹脂與二二氧化硅納米顆

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論