IC測試探針尺寸及表面缺陷的圖像測量方法及系統(tǒng).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文在分析微小零件尺寸與質量檢測技術與系統(tǒng)現(xiàn)狀的基礎上,以IC測試探針尺寸及其表面缺陷的檢測為對象,綜合應用相關學科領域的最新研究成果,設計了基于機器視覺的IC測試探針尺寸與表面缺陷的圖像測量系統(tǒng),研究了測量系統(tǒng)所涉及的圖像采集、圖像處理、圖像分割、邊緣檢測、亞像素定位分析、圖像特征提取、基于圖像的尺寸測量等關鍵技術。
　　在分析和比較相關的圖像邊緣檢測方法以及各種亞像素定位技術的基礎上,對圓的亞像素定位,建立了降維灰度矩法和改進

2、最小二乘法,以建立微小零件尺寸及表面缺陷測量的亞像素邊緣檢測算法。實驗表明,用本文研究的算法對直徑在0.3～0.6mm的IC探針尺寸檢測的絕對誤差均小于3.5um;相應的缺陷檢出率,對像素級達到90％以上,而亞像素級達到96%以上;而且具有計算速度快、定位精度高等特點。
　　在IC測試探針尺寸及表面缺陷的圖像測量理論與方法研究基礎上,作者應用VisualC++開發(fā)工具,編寫了圖像采集與處理、邊緣檢測、亞像素定位分析、邊緣提取與特征

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