基于微電磁驅動的新型MEMS光開關研制.pdf

1、該文研究開發(fā)了幾種新型的微機電系統(tǒng)光開關,成功解決了微驅動器研制、光開關整體結構設計和光路調整等問題.所開發(fā)的光開關具有插入損耗低、體積小等優(yōu)異性能,并已通過上海市科委組織的成果鑒定,受到了鑒定專家的好評.設計制造了一種新型MEMS擺動式微電磁驅動器,該驅動器采用雙定子單擺盤和多線圈多磁極的軸向磁通結構,具有較大的輸出力矩.微驅動器采用了微細加工、精密制造及精密裝配相結合的制造工藝.定子采用鐵氧體導磁材料基板,保證了磁路閉合.利用一套以

2、掩模工藝為主,配上深層光刻、濺射和干法刻蝕為輔的非硅材料微細加工工藝,確保了字子的加工質量.擺盤采用硅鋼處膠合釤鈷永磁材料結構,并對其進行飽和充磁來提高輸出力矩.利用微電磁驅動器作為驅動源,設計制造了1×2、2×2、1×4、和1×8四種典型的光開關.用高斯光束傳輸理論和矩陣光學說明了光纖通過自聚焦透鏡耦合時位置誤差對耦合損耗的影響.對光開關的插入損耗、回波損耗、消光比和重復性等光學性能參數(shù)進行了測量.測試結果表明,所研制的光開關具有優(yōu)良