應用于全光網的微電磁驅動MEMS可變光衰減器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、全光網是適應中國國民經濟信息化對未來通信網絡的帶寬容量需求的最佳方案.全光網的功率均衡是亟待解決的一項關鍵技術,其中大量采用了可變式光衰減器(Variable Optical Attenuator,以下簡稱VOA).針對上述需求、該文研究基于微細加工工藝、主要是集成電路工藝制作的可實現(xiàn)陣列拼接的MEMS(Micro-electro-mechanical-systems,微電子機械系統(tǒng))可變光衰減器.該文首先簡要介紹了應用于全光網的MEM

2、S技術的研究現(xiàn)狀.該文研究了現(xiàn)有的擋光片式光衰減器內部的衍射光學傳播過程,基于對輸入輸出單模光纖內部傳輸基模的高斯近似,以及高斯光束的自由空間傳播,擋光片上的Fresnel-Kirchoff衍射積分,以及輸出光纖端面的衍射光束場分布和輸出光纖內部的基模的交疊積分,建立了上述傳播過程的理論計算模型,得到了與實驗數(shù)據(jù)基本一致的結果.該文還進行了一種新型電磁驅動錯位式微機械可變光衰減器的研究,首先介紹了器件的基本結構和工作原理;其次對器件的結

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