應用于光通信的非硅基底光開關與光衰減器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　本文在閱讀國內外相關文獻的基礎上，利用實驗室現(xiàn)有條件，對基于非硅基微加工技術的光開關及可調光衰減器的設計、制作進行了分析探討和深入研究?！　”疚慕榻B了全光通信與光無源器件的背景情況，研制開發(fā)了一種全金屬化非硅基底可擴展1×8微加工型光開關；應用有限元方法進行了器件開關時間的理論分析，器件的結構優(yōu)化設計，并給出樣品的實測結果；設計制作了數(shù)字化高速可調光衰減器是基于微加工驅動器的透射微鏡陣列，此方案結構獨特，能在小于2ms的短時間里實

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