運(yùn)動(dòng)模糊圖像復(fù)原及其在電子制造設(shè)備中的應(yīng)用.pdf

1、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛度發(fā)展，視覺定位成為滿足電子制造設(shè)備高速高精運(yùn)行要求的核心技術(shù)。高速運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致視覺系統(tǒng)圖像發(fā)生運(yùn)動(dòng)退化，高精要求圖像具有較高的清晰度。因此，運(yùn)動(dòng)模糊復(fù)原成為一個(gè)關(guān)鍵問題。
　　 本文從圖像復(fù)原的基本理論著手，簡(jiǎn)要介紹圖像的退化模型，經(jīng)典復(fù)原方法以及評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。其中著重介紹了運(yùn)動(dòng)模糊退化模型，為后續(xù)分析做理論基礎(chǔ)。本文將運(yùn)動(dòng)模糊復(fù)原問題轉(zhuǎn)化為模糊參數(shù)識(shí)別問題。從運(yùn)動(dòng)模糊圖像的空間域出發(fā)，深入分析運(yùn)動(dòng)模糊對(duì)圖像空間域的影

2、響及其所引入的反應(yīng)該運(yùn)動(dòng)性質(zhì)的特征，針對(duì)電子制造設(shè)備中圖像特點(diǎn)，從單個(gè)像素運(yùn)動(dòng)模糊特征入手，分析提取運(yùn)動(dòng)參數(shù)方法，并將該方法引入到由多個(gè)像素組成的整幅圖像，提出了基于二階微分的運(yùn)動(dòng)模糊參數(shù)識(shí)別方法?？紤]二階微分對(duì)噪聲敏感，本文使用多種方式抑制該敏感。為準(zhǔn)確反映該方法特點(diǎn)，分別在無(wú)噪聲和有噪聲條件下將本文方法與文獻(xiàn)方法作對(duì)比測(cè)試。結(jié)果顯示本文方法具有較高的魯棒性和精確性。
　　 針對(duì)電子制造設(shè)備中實(shí)際存在的模糊圖像，依據(jù)本文及文獻(xiàn)