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文檔簡介
1、該文在分析國內外RF-MEMS研究現(xiàn)狀的基礎上,對相關微尺度射頻元件,如微機械電感器、微機械電容器、微機械射頻開關以及微機械諧振器/濾波器的設計理論作了較深入的分析,為這些微尺度射頻元件的研制提供了理論基礎.該文重點對關鍵器件——微機械天線作了深入的理論、數(shù)值計算和實驗研究,成功地研制出多種結構的微機械天線,在微機械天線的理論設計和制造上取得了突破與創(chuàng)新.該論文的主要研究內容包括:研究了微尺度射頻元件(微機械電感器、微機器電容器、微機械
2、射頻開關和微機械諧振器/濾波器等)設計基礎理論;重點對微機械天線的結構設計,微機械天線的基本理論與電磁仿真計算,微機械天線的制造和測試等方面作了較全面的研究.微機械天線研究具體涉及到微機械微帶線結構設計及其有效介電常數(shù)、特性分析;微機械天線混合基底等效模型及其空腔模型法分析;微機械天線的有限時域差分法分析;微機械天線結構設計及微型化研究;微機械天線的參數(shù)計算和電磁數(shù)值仿真分析;微機械天線的加工制造;微機械天線的測試;微機械天線的計算與測
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