金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜的性質(zhì)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、該文研究了射頻反應(yīng)性濺射方法制備的CdIn<,2>O<,4>(CIO)薄膜的氣敏性質(zhì),測(cè)試了薄膜對(duì)酒精氣體的靈敏隨溫度、氣體濃度的變化以及傳感器元件的響應(yīng)曲線,實(shí)驗(yàn)表明:CIO薄膜對(duì)酒精氣體有很好的敏感性,在CIO薄膜表面濺射上一層極薄的Pt作為催化劑之后,薄膜對(duì)酒精氣體的靈敏性顯著提高;探討了多元氧化物CIO薄膜對(duì)酒精氣體的氣敏機(jī)理,分析了氧氣和酒精氣體在CIO薄膜表現(xiàn)發(fā)生的吸附及氧化還原反應(yīng),提出了多元氧化物CIO薄膜的氣敏模型,并

2、應(yīng)用此模型對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了分析.采用溶膠-凝膠法制備了純的和Pd摻雜的SnO<,2>氣敏薄膜,用X射線衍射方法分析了薄膜的結(jié)構(gòu)和組成,研究了薄膜晶粒的生產(chǎn)與熱處理溫度的關(guān)系,結(jié)果表明:隨著熱處理溫度的升高,晶粒逐漸長(zhǎng)大,雜質(zhì)Pd對(duì)晶粒生長(zhǎng)有抑制作用;通過(guò)測(cè)試SnO<,2>薄膜的阻溫特性曲線,分析了晶粒尺寸對(duì)薄膜氣敏性質(zhì)的影響,發(fā)現(xiàn)晶粒尺寸越小,薄膜的氣敏性能越好;從氣體反應(yīng)動(dòng)力學(xué)角度出發(fā),研究了在SnO<,2>薄膜表面有氣體氧化還原反應(yīng)

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