非球面光學元件檢測方法的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著非球面光學元件的設計和加工技術的發(fā)展，對非球面光學元件的面形及其參數(shù)的檢測提出了更高的要求。在已有高精度檢測儀器的條件下，一方面要研究適合具體工件類型的新的檢測方法，擴展儀器的檢測范圍以充分發(fā)揮檢測儀器的功能；另一方面要盡可能分析并降低檢測儀器的誤差，以提高檢測的精度。　　對非接觸式檢測，本文在介紹用干涉儀檢測非球面的基本原理的基礎上，歸納了干涉法檢測非球面的幾種方法以及常用補償器的類型，以單透鏡補償器為例詳細闡述了補償器的設計和

2、精度分析，同時還指出部分補償透鏡的思想可以簡化補償器的設計?！　佑|式檢測，本文以檢測口徑小于120mm的TalysurfPGI輪廓儀為基礎，詳細分析了輪廓儀在檢測中的誤差因素，推導出了輪廓儀檢測二次旋轉軸對稱非球面時，各項誤差對測量面形影響的傳遞系數(shù)方程，得出測量坐標系與工件坐標系間的不重合誤差對測量面形誤差的影響隨被測口徑、頂點曲率的絕對值以及坐標系間的定位誤差和方向誤差的增大而增大的結論。　　用自己編寫的Matlab程序模擬

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