小型光學(xué)非球面精密檢測技術(shù)研究.pdf

1、在光學(xué)系統(tǒng)中采用非球面元件可以獲得高成像質(zhì)量，提高光學(xué)特性，簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)體積。一直以來，非球面元件制造難，檢測技術(shù)更是非球面制造技術(shù)中的瓶頸，各國專家和學(xué)者投入大量的人力和物力全方位地研究非球面元件的加工和檢測問題。 本課題來源于國家863計(jì)劃課題“0.1μm非接觸傳感器”、福建省“高等學(xué)?？萍紕?chuàng)新團(tuán)隊(duì)培育計(jì)劃”(IRTSTFJ)和廈門大學(xué)重大科技創(chuàng)新項(xiàng)目“微納米加工控制與檢測系統(tǒng)研制”。根據(jù)小型非球面面形檢測的需要，

2、本文針對一種自行研制的具有接觸式和非接觸式傳感器測頭的非球面檢測平臺(tái)，完成了高精度非球面檢測平臺(tái)的搭建和測量軟件設(shè)計(jì)。文中介紹了該檢測平臺(tái)的工作原理；完成了測量軟件模塊設(shè)計(jì)；對可能存在的系統(tǒng)誤差逐項(xiàng)進(jìn)行分析，建立了各項(xiàng)誤差的數(shù)學(xué)模型，重點(diǎn)分析了這些誤差產(chǎn)生原因以及減小誤差的方法，并根據(jù)誤差的類型分別提出了補(bǔ)償方案。 通過多次實(shí)驗(yàn)以及數(shù)據(jù)處理、分析，證明自行研制、安裝和調(diào)試的非球面檢測平臺(tái)以及測量軟件達(dá)到了設(shè)計(jì)的功能要求，經(jīng)過各項(xiàng)