亞單層和多層銅薄膜生長(zhǎng)的動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅模擬.pdf

1、本文建立了亞單層銅薄膜生長(zhǎng)和多層銅薄膜生長(zhǎng)的三維動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅模型，用動(dòng)力學(xué)蒙特卡羅方法對(duì)亞單層和多層銅薄膜的生長(zhǎng)過程進(jìn)行了模擬。研究了薄膜生長(zhǎng)過程中工藝參數(shù)對(duì)表面形貌的影響，進(jìn)而研究銅薄膜生長(zhǎng)中表面結(jié)構(gòu)的形成及其動(dòng)力學(xué)演化規(guī)律。 研究了襯底溫度和沉積速率對(duì)亞單層銅薄膜生長(zhǎng)的影響。結(jié)果表明，隨襯底溫度升高和沉積速率降低，島形狀由離散型逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)榫o致型，形成近四方的島，島的平均尺寸急劇增大，島的數(shù)目迅速減少，襯底溫度達(dá)到一定值之后

2、，島的數(shù)目基本不變，島的尺寸分布接近正態(tài)分布；隨覆蓋度的增大，島的平均尺寸增加，島的數(shù)目減?。划?dāng)覆蓋度大于一定值之后，島的數(shù)目基本不變。 分別采用來自于第一原理計(jì)算和分子動(dòng)力學(xué)計(jì)算的激活能作為輸入?yún)?shù)，研究了襯底溫度和沉積速率對(duì)多層銅薄膜生長(zhǎng)的影響。結(jié)果表明，隨沉積時(shí)間的增加，薄膜表面逐步由“連綿的層狀”過渡為“山包狀”結(jié)構(gòu)，島狀物逐步向聚集型過渡，表面變得越來越粗糙，單個(gè)島狀物的面積增大，島狀物的數(shù)目減少；襯底溫度較低時(shí)，薄膜