基于動力學蒙特卡羅法的各向異性濕法腐蝕工藝和表面形貌仿真研究.pdf

1、論文研究了基于動力學蒙特卡羅法建立單晶硅濕法腐蝕精確仿真計算模型的關鍵技術，依據己發(fā)表文獻中和已有的實驗數據，利用蒙特卡羅計算模型實現(xiàn)了體硅多次掩膜加工復合工藝的輔助設計系統(tǒng)。論文還研究了單晶硅各向異性腐蝕工藝的表面微觀形貌及其規(guī)律，并使用計算模型對提出的假設進行了驗證。論文主要研究內容如下:
　　 論文首先以單晶硅六個晶面族分類為背景，分析同一晶面族內各晶面表面原子規(guī)律性排列的特點，確定臺階和臺地原子的類型，總結了它們在腐蝕過

2、程中對各向異性速率和表面形貌的作用和影響。
　　 基于動力學蒙特卡羅方法，在臺階流動(step flow)模型上引入了RPF腐蝕概率方程，確定蒙特卡羅轉移概率，擴充了研究文獻中的RPF函數參數，使其適應低濃度下的腐蝕液，在中等和低濃度的加工條件下的計算結果符合實驗的結論。
　　 仿真程序開發(fā)中，利用樹狀結構及變時間步長法實現(xiàn)了動力學蒙特卡羅的各向異性腐蝕模型，并通過模擬一個9步復合工藝的復雜硅微加工過程驗證了系統(tǒng)的正確性