微納米表面形貌測量中探針形狀重建的分析.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩57頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、表面三維形貌檢測是獲取零件表面形態(tài)特征的一種重要手段，也是記錄、比較和復(fù)制物體形態(tài)特征的基礎(chǔ)，它在機器視覺、自動加工、工業(yè)檢測、產(chǎn)品質(zhì)量控制和生物等領(lǐng)域具有重要意義和廣闊的應(yīng)用前景。但在接觸式測量與掃描探針顯微鏡中存在一個問題，就是所獲得的掃描圖像是樣品與觸針/探針共同作用的結(jié)果，即是被測樣品實際形貌的近似描述。所以觸針/探針重建是減小探針膨脹效應(yīng)的要求，利用估計的探針形貌進行表面重建能夠得到更準(zhǔn)確的測量結(jié)果。 本文介紹了微米尺

2、度下觸針重建的方法—刮胡刀片法，以及納米尺度下探針重建的方法—盲重建法；通過模擬探針掃描成像，分析了探針形狀對測量樣品結(jié)果的影響；通過對仿真的成像結(jié)果采用盲重建法得到的探針結(jié)果，分析了盲重建法的優(yōu)缺點；提出了一種探針重建方法—STRM法(StylusTipReconstructionMethod)，并分別與微米尺度下國際標(biāo)準(zhǔn)ISO5436-1(GB/T19067.1)建議的刮胡刀片法和納米尺度下美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院所提出的盲重建法進

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論