高真空磁控濺射鍍膜機(jī)溫度控制系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、高真空磁控濺射鍍膜機(jī)的溫度控制在鍍膜過(guò)程中起著十分重要的作用，溫度控制的好壞直接影響到成膜質(zhì)量。本文研究了專家PID算法的原理和實(shí)現(xiàn)方法，并將其應(yīng)用到溫度控制系統(tǒng)中；就常規(guī)PID算法和專家PID算法在溫度控制上的應(yīng)用開(kāi)展了仿真比較；設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了基于專家PID算法的高真空磁控濺射鍍膜機(jī)溫度控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)主要由專家PID智能溫控儀、晶閘管反并聯(lián)模塊、晶閘管控制電路、熱電偶等組成；討論了溫度控制系統(tǒng)及其各單元的結(jié)構(gòu)、工作原理和特性；溫度控制

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