納米晶化氧化鈦薄膜的制取及性能研究.pdf

1、近年，科技的快速發(fā)展對(duì)材料性能的要求越來(lái)越高，常規(guī)處理已不能滿足需要。為了拓寬材料的應(yīng)用領(lǐng)域，我們采取對(duì)原始材料進(jìn)行改性、納米化等處理，以此來(lái)提高材料的性能。鈦金屬表面的陽(yáng)極氧化處理就屬于一種納米化處理，處理后的氧化鈦薄膜具有比鈦金屬更優(yōu)異的性能。目前，在對(duì)鈦金屬的表面處理上，國(guó)內(nèi)外已有多種較成熟的研究方法，但均存在成本高、工藝復(fù)雜等各種缺陷。于此本文提出一種新型制備氧化鈦薄膜的方法。
　　本文采用陽(yáng)極氧化法制備二氧化鈦納米薄膜，

2、包括在鈦表面制膜和玻璃基表面濺射鈦制膜。在鈦表面制膜實(shí)驗(yàn)中，研究了電壓波形、終值電壓、溫度、電解液等的不同對(duì)制備氧化薄膜顏色的影響，通過(guò)對(duì)薄膜耐酸性能試驗(yàn)、中性鹽霧試驗(yàn)、摩擦試驗(yàn)等的測(cè)試得出上述各參數(shù)對(duì)薄膜性能的影響；初步探討了制取復(fù)雜形面的氧化鈦薄膜方法；通過(guò)實(shí)驗(yàn)?zāi)M了陽(yáng)極氧化薄膜的生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)過(guò)程。采用磁控濺射將金屬鈦濺射到玻璃表面進(jìn)行陽(yáng)極氧化處理制備氧化鈦薄膜，并對(duì)薄膜進(jìn)行晶化處理。最后利用電子掃描顯微鏡（SEM）、X射線衍射儀（X