透明導電玻璃和多層膜系鍍膜玻璃的新應用

1、透明導電玻璃和多層膜系鍍膜玻璃的新應用(摘要：介紹了幾鐘多功能的ITO透明導電玻璃和多層膜系的鍍膜玻璃在顯示器件、建筑和汽車等領域的應用。指出拓展ITO膜應用范圍的途徑之一是制備成新的多層膜系。)開拓透明導電玻璃和多層膜系鍍膜玻璃的新的應用領域是國內外真空廠家追求的目標之一?，F(xiàn)在重點介紹它們在汽車、顯示和建筑領域的應用。1.多功能的ITO（氧化銦錫）透明導電玻璃傳統(tǒng)的ITO透明導電玻璃用于液晶顯示器的電極已經得到了廣泛的應用。另外，它還

2、具備其它的光、電特性：增透、抗反射、抗靜電、抗紫外、抗紅外和電磁干擾的屏蔽功能。這對大規(guī)模生產ITO膜的沉積工藝提出了更高的要求。例如，大面積23平方米、低電阻、小于150μΩcm，室溫或低于15℃的條件下沉積、沉積速率大于1μmmm，膜厚均勻沉積到性的相對誤差小于5%，甚至低于2%。除了能夠沉積于玻璃而外，還應能沉積到有機色濾波器、聚酯材料、碳聚合物等塑料襯底表面上。ITO透明導電玻璃已成功用于扭曲型、超扭曲型、薄膜晶體管型液晶顯示器

3、。正在擴展應用于光致發(fā)光液晶顯示器、電致發(fā)光燈和顯示器、反射色液晶顯示器、等離子體顯示板、聚合物彌散型液晶光開關器、懸浮粒子器件、電致變色顯示器等器件。聚合物彌散型液晶是在兩塊ITO透明導電玻璃板之間插進一塊10μm厚的塑料板，其內彌散分布呈微米尺寸的向列型液晶滴。不通電時，液晶滴取向無序呈乳白色失透狀。通電后，液晶按電場方向排列，使光通過并呈透明態(tài)，或改變液晶分子相對于電場的取向，從而改變透射光強度。據此，可以開發(fā)可開關窗，用于辦公室

4、、會議室、廳廊的玻璃壁，也可以用于家庭臥室、浴室的玻璃壁，還可開發(fā)出快速（1~3ms）、低電壓（10V）的聚合物彌散型液晶，以滿足快速光開關和投影電視的需要。還可以開發(fā)有顏色和圖形的全彩色的聚合物彌散型液晶，即改變所加電壓和頻率，使其呈現(xiàn)各種顏色。懸浮粒子器件是在兩塊ITO透明導電玻璃板之間充入液晶微滴，液滴內包含細小顆粒。不通電時，細小顆粒取向無序。由于光極化顆粒的光吸收特性，器件呈深藍色。通電后，顆粒取向一致，使視場變得清徹透明。當

5、電壓改小或斷開，器件又回到深藍色。據此原理，可以開發(fā)智能窗、平板顯示器、自變暗的汽車后視鏡、可調光透射的汽車遮陽板、護目鏡、太陽鏡、視頻顯示終端的對比度增強濾光器等。近年來，ITO透明導電玻璃的一個重要應用領域是作為電磁干擾屏蔽和屏蔽窗。前者使陰極射線管發(fā)射的電磁波場強大大衰減，以便獲得良好的工作環(huán)境。后者一方面不受外來的電磁干擾，又不會使室內的機要信息的電磁波向外泄露。這在未來的電子戰(zhàn)、信息戰(zhàn)中是十分重要的。近年來，發(fā)現(xiàn)ITO膜與Ti

6、O2膜有相同的功能。作為光催化膜，在紫外光的照射下，可以分解含有碳氫化合物的有毒氣體，減少污染，用于環(huán)保工業(yè)中。ITO透明導電膜已在各種平板顯示器的電阻型觸摸屏中有了廣泛的應用。2.多層膜系的應用利用同樣的設備和膜層制備方法對膜層或膜系進行改變可以制成多種新型的透明導電玻璃。例如，采用玻璃ITOSiO2(TiO2)SiO2、玻璃TiNXOYSiNXSiO2膜系以后，可以制成抗反射、抗靜電膜透明導電玻璃。這種玻璃可以用于陰極射線管和平板顯

7、示器件的監(jiān)視器、彩色電視機和高分辨率彩電的屏罩、照相框玻璃、太陽能電池板、光學儀器、眼鏡鏡片、汽車眩光過濾器、汽車表盤和顯示板。可以分別起到增透、防眩、減反射、減輕肉眼疲勞、增強視覺、提高人機對講效率、減少電磁幅射的作用。如果采用CeO2TiO2TiO2二層外層和耐磨的內層TiO2SiO2可以減少氧化，形成抗紫外膜系。這類膜系的玻璃主要用于汽車，可以減少車內織物、材料的褪色和老化。如果采用玻璃SnO2(10~100nm)CrNx(FeN

8、x、AlNx)(10~100nm)SnO2膜系可以制成陽光控制膜，沉積到雙窗中外窗內玻璃面。形成蘭色、蘭綠、黃等顏色。主要用于建筑玻璃，起到美觀和節(jié)能的作用。如果采用玻璃SnO2AgZno、玻璃TiO2AgTiO2、玻璃SnO2(40nm)Ag(10nm)Nicro2(1.5nm)Sn(40nm)這樣的膜系，將其沉積到雙窗中內窗的外玻璃器，就會作成目前在國外十分流行的低幅射率玻璃?？梢源蟠蠼档涂照{的能耗。ITO透明導電玻璃的應用范圍正在