“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”

1、1國家科技重大專項自查情況國家科技重大專項自查情況匯總分析報告匯總分析報告專項名稱：牽頭責任部門：報告編制時間：年月國家科技重大專項上海配套資金審核小組制年月日3國家科技重大專項自查情況國家科技重大專項自查情況匯總分析報告匯總分析報告（編寫大綱）一、實施基本情況說明本專項項目（課題）啟動和任務實施情況，提供10項事業(yè)單位類事業(yè)單位類承擔承擔的重點檢查的項目（課題）清單（附表1）。二、目標任務階段進展情況說明本專項項目（課題）進展情況，包

2、括主要目標任務的完成情況、關鍵技術的突破情況、成果轉化和產業(yè)化的推進情況，以及重要事項變更情況等。三、組織管理情況說明本專項組織管理情況，包括制度制定及落實情況、單位法人責任落實情況、人才隊伍建設、知識產權管理情況、平臺基地建設等。四、專項組織推進體制機制創(chuàng)新情況說明本專項在組織推進方面的創(chuàng)新做法，包括協同推進、政產學研用、國際合作等情況。五、主要產出和實施成效說明通過本專項的實施產生的主要成果和成效，包括專項實施建立的重大標志性成果及