脆性材料精密研拋加工工藝研究.pdf

1、針對(duì)脆性材料精密研磨拋光加工過(guò)程中主要依賴工人加工經(jīng)驗(yàn)的情況，為了滿足新型超精密單平面研磨機(jī)在加工過(guò)程中減少對(duì)工人加工經(jīng)驗(yàn)的要求，本文以Al2O3陶瓷閥片和BK7光學(xué)玻璃為研究對(duì)象，研究了加工工藝參數(shù)對(duì)這兩種材料加工質(zhì)量的影響；建立了相應(yīng)的加工工藝數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)；設(shè)計(jì)了超精密單平面研磨機(jī)控制系統(tǒng)。從而使得本課題組研發(fā)的超精密單平面研磨機(jī)在加工過(guò)程中能從數(shù)據(jù)庫(kù)中讀取相關(guān)加工參數(shù)信息，實(shí)現(xiàn)工藝優(yōu)化組合與加工效果預(yù)報(bào)功能。 本文主要的研究

2、結(jié)論如下： 研磨時(shí)間、壓力、研磨液流量、研磨液濃度、磨料粒度、研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速等加工參數(shù)對(duì)工件表面粗糙度和材料去除量有不同程度的影響。 對(duì)于Al2O3陶瓷閥片，隨著研磨時(shí)間延長(zhǎng)、研磨液流量增大、磨料粒度和研磨液濃度減小，表面粗糙度降低；隨著研磨時(shí)間延長(zhǎng)、研磨壓力、磨料粒度、研磨液流量的增大和研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速增加，材料去除量增大；隨著研磨壓力增大，表面粗糙度先減小后增加；隨著研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速增加，表面粗糙度先增大后減??；隨著研磨液流量增加，

3、材料去除量先增大后減少。 對(duì)于BK7光學(xué)玻璃，隨著研磨時(shí)間延長(zhǎng)和磨料粒度減小，表面粗糙度減小；隨著研磨壓力增加、研磨液濃度減小和研磨液流量增大．表面粗糙度先減小后增大；研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速增加，表面粗糙度先增大后減??；隨著研磨時(shí)間延長(zhǎng)、研磨壓力增大、磨料粒度增大、研磨液濃度增大，材料去除量增大；研磨盤(pán)轉(zhuǎn)速和研磨液流量增大，材料去除量先增大后減少。 通過(guò)正交試驗(yàn)以符合加工表面粗糙度要求所用的加工時(shí)間最少為目標(biāo)，對(duì)兩種材料研磨拋光加工