太陽能級多晶硅定向凝固過程的數(shù)值模擬.pdf

1、多晶硅被譽為“微電子大廈的基石”，是跨化工、冶金、機械、電子等多學科、多領域的高新技術產(chǎn)品，是半導體、大規(guī)模集成電路和太陽能產(chǎn)業(yè)的重要基礎原材料，具有投資規(guī)模大、科技含量高、產(chǎn)業(yè)鏈長等特點，經(jīng)濟效益和社會效益都十分顯著。
　　 制備多晶硅主要采用西門子法，經(jīng)過三代發(fā)展，技術較成熟，但它生產(chǎn)流程長、能耗高、污染大。冶金法是近十幾年發(fā)展起來的制備多晶硅的方法，它具有投資小、生產(chǎn)流程簡單等優(yōu)點，被業(yè)界認為是最有可能替代西門子法的一種方

2、法，但這種技術不成熟。
　　 本研究的目的是發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權的能耗污染相對小的冶金法制備太陽能級多晶硅新技術。由于多品硅制備工藝試驗難度大、周期長、費用高，有風險，數(shù)值模擬是一種廉價有效的方法，它對多品硅生產(chǎn)技術起到了越來越重要的指導作用。
　　 本文綜合評述近年來太陽能級多晶硅定向凝固技術的研究進展，根據(jù)定向凝固的理論，對目前的主要幾種定向凝固的方法進行了比較，指出了它們的優(yōu)缺點；計算了相變過程的焓；在參閱目前定向