超聲楔焊鍵合物理過程及其規(guī)律研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文為深入理解超聲鍵合的鍵合本質(zhì)和鍵合機(jī)理以及器件在服役過程中鍵合點(diǎn)界面的組織演化行為，采用高溫老化的可靠性試驗(yàn)方法，對鍵合點(diǎn)界面進(jìn)行了基于金屬學(xué)理論的研究，采用了電子掃描電鏡(SEM)及X射線能譜(EDX)分析了直徑為25μm的Al+1﹪Si引線與Au/Ni/Cu焊盤鍵合后以及老化過程中界面和鍵合點(diǎn)上引線的冶金行為。通過試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)：接頭的形成始于鍵合點(diǎn)周邊，超聲引線鍵合的連接本質(zhì)是壓力使引線發(fā)生塑性流動導(dǎo)致界面處Ni元素與Al元

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