單基多電極式石英加速度計的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、加速度計是慣性導航、制導和控制檢測設備的重要測量器件，廣泛用于航空、航海及武器的制導和控制系統(tǒng)。其中，數(shù)字式壓電石英加速度計以其精度高、響應快、數(shù)字輸出、抗干擾能力強，以及無活動部件和反饋回路等特點而受到人們的關注。對于石英加速度計力．頻特性的改善和溫度等因素影響的抑制成為新的研究方向。 本文根據晶體振動的能限理論設計制作了單基三電極石英晶體諧振器。研究了這種結構的石英晶體諧振器的晶片表面處理(拋光)及邊沿形狀(倒邊)對其力-頻

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