設備全過程管理制度

1、設備全過程管理制度設備全過程管理制度文件編號QEOBYHNZD10092016（A0）文件類別支持性文件頁碼18編制部門硅片廠設備部編制日期審核日期批準日期分發(fā)范圍：硅片廠各工段、分部生效日期20年月日目錄目錄1、范圍2、原材料及產(chǎn)品質量指標3、工作原理4、操作步驟5、控制要點6、安全技術操作規(guī)程注意事項7、常見故障處理措施8、圖組織機構和職責范圍組織機構和職責范圍文件編號QEONBYCZYSB062011（A0）文件類別作業(yè)文件頁碼1

2、8編制部門設備部編制日期審核日期批準日期分發(fā)范圍：總經(jīng)理部、公司各部門負責人生效日期20年月日目錄目錄1、范圍2、原材料及產(chǎn)品質量指標3、工作原理4、操作步驟5、控制要點6、安全技術操作規(guī)程注意事項7、常見故障處理措施8、圖TPM持續(xù)改進制度持續(xù)改進制度文件編號QEONBYCZYTJ052011（A0）文件類別程序文件管控部門體系建設辦版本號A0頁碼18目錄目錄1、范圍2、原材料及產(chǎn)品質量指標3、工作原理4、操作步驟5、控制要點6、安全

3、技術操作規(guī)程注意事項7、常見故障處理措施8、圖設備全過程管理制度設備全過程管理制度文件編號QEONBYCZYSB012011（B0）文件類別作業(yè)文件頁碼18編制部門設備部編制日期審核日期批準日期分發(fā)范圍：總經(jīng)理部、公司各部門負責人生效日期年月日目錄目錄1、范圍2、原材料及產(chǎn)品質量指標3、工作原理4、操作步驟5、控制要點6、安全技術操作規(guī)程注意事項7、常見故障處理措施8、圖TPM持續(xù)改進制度持續(xù)改進制度文件編號QEONBYCZYTJ052

4、011（A0）文件類別程序文件管控部門體系建設辦版本號A0頁碼18目錄目錄1、范圍2、原材料及產(chǎn)品質量指標3、工作原理4、操作步驟5、控制要點6、安全技術操作規(guī)程注意事項7、常見故障處理措施8、圖1.1.目的目的為不斷改善設備技術狀況，提高設備可靠度，作好設備的全過程管理，促進生產(chǎn)發(fā)展、提高經(jīng)濟效益，特制訂設備全過程管理制度。2.2.定義定義設備全過程管理制度是指對設備從規(guī)劃、選型、購置、驗收、入帳、安裝、使用、維護、更新改造、轉移、出

5、售、閑置、報廢的全過程進行的綜合管理。3.3.適用范圍適用范圍本制度適用于硅片廠全部生產(chǎn)設備的規(guī)劃、選型、購置、驗收、入帳、安裝、使用、維護、更新改造、轉移、出售、閑置、報廢等設備管理。4.4.管理職責及要求管理職責及要求4.1設備的規(guī)劃為適應生產(chǎn)發(fā)展和工藝技術進步的需要各單位應根據(jù)具體情況制定設備發(fā)展規(guī)劃。4.1.1編制設備規(guī)劃的依據(jù)：應根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營發(fā)展的要求、設備的技術狀況、國家政策(節(jié)能、節(jié)材)的要求、國家勞動安全和環(huán)境保護法

6、規(guī)的要求、國內外新型設備發(fā)展和科技信息、可籌集用于設備投資的資金來進行設備規(guī)劃。4.1.2設備規(guī)劃的編制程序：設備規(guī)劃就是按上述依據(jù)，通過初步的技術經(jīng)濟分析來確定設備改造、更新和新增規(guī)劃的項目及進度計劃。設備規(guī)劃的編制，應在公司領導的領導下，由設備主管部門負責，自上而下的進行編制。編制程序如下：首先，由設備使用部門和設備主管部門根據(jù)企業(yè)經(jīng)營發(fā)展規(guī)劃的要求，提出設備規(guī)劃的項目申請表。對設備規(guī)劃項目必須進行初步的經(jīng)濟分析，從幾個可行方案中選

7、出最佳方案。其次，由規(guī)劃部門匯總各部門的項目申請表。進行綜合平衡，提出企業(yè)經(jīng)濟效益和社會效益最佳的設備規(guī)劃草案，送交有關部門會審。最后，由規(guī)劃部門根據(jù)會審意見修改規(guī)劃草案，編制設備規(guī)劃，經(jīng)分管領導或總工程師審查后報總經(jīng)理批準。4.2設備設計、選型4.2.1基建、技措項目設計中所選用的設備，及生產(chǎn)設備的更新改造應滿足生產(chǎn)工文件名設備全過程管理制度文件編號QEOBYHNZD09092016（A0）頁碼382、原材料及產(chǎn)品質量指標、原材料及產(chǎn)

8、品質量指標2.1、原料質量指標、原料質量指標名稱品種規(guī)格消耗量噸年備注氯氣氯%（體積）≥99.8水和其它含氧雜質%（質量）≤0.015.三氯化氮%（質量）≤0.002不揮發(fā)的殘余物%（質量）≤0.0159573符合GBT51381966標準的優(yōu)質品氫氣1氫%（質量）≥99.9972氧%（質量）≤0.0033露點60℃286（原始氫4%，循環(huán)氫282）2.2、產(chǎn)品質量指標、產(chǎn)品質量指標2.2.1、合成、合成HCL質量指標（體積）質量指標（

9、體積）HCL含量：95~97%H2含量：3~5%無游離氯（含量小于20ppm）水分含量≤200ppm2.2.2、CDI回收回收HCL質量指標（體積）質量指標（體積）HCL含量：≥95%H2含量：≤5%氯硅烷含量：≤0.5%2.3、技術經(jīng)濟指標、技術經(jīng)濟指標產(chǎn)能（按70%）：合成HCL9859Ta消耗CL2：9573Ta消耗H2：286Ta（其中補充氫4T；循環(huán)氫282T）3、工作原理、工作原理3.1HCL、合成工藝原理、合成工藝原理HC

10、L的合成是采用氫氣在氯氣中不爆炸燃燒的條件下進行的方法來制備：反應式：H2CL2=HCL反應的發(fā)生需要一定的前提條件，即提供一定的能量，在光照或加熱的情況下，二者能迅速反應，釋放出大量的熱。3.2、工藝流程、工藝流程3.2.1、工藝流程說明（附工藝流程圖）、工藝流程說明（附工藝流程圖）氯化氫合成是由三套相同的合成爐系統(tǒng)，氫氣、氯氣緩沖罐，事故排放接收設備組成（其中H2、CL2緩沖罐及事故排放裝置為三套合成爐系統(tǒng)共用）3.2.1.1、原料

11、、原料外購液氯汽化后，到緩沖罐01V0701，經(jīng)干燥后由管道輸送至氯氣緩沖罐V31.1.08。氫氣來自制氫廠房及CDI裝置，由管道輸送至緩沖罐V51.1.10。3.2.1.2、HCL吸收吸收為了吸收合成爐R11.1.01、R11.1.011、R11.1.012安全薄膜閥動作時的事故廢氣，以及合成爐開停車或不合格的廢氣，設置HCL吸收裝置。系統(tǒng)由兩臺（一開一備）一級降膜吸收器D11.1.1.01、D11.1.1.02，一臺二級降膜吸收器D

12、11.1.1.03，HCL吸收塔T11.1.1.08，儲罐容器V11.1.1.04、V11.1.1.05、V11.1.1.06、V11.1.1.07、V21.1.1.09、V21.1.1.10、收集罐V41.1.1.29和換熱器E11.1.1.11，泵P11.1.1.2122，P11.1.1.2324，P21.1.1.2526等組成，充分吸收HCL后，尾氣經(jīng)T11.1.1.08排空，制得20%以下的鹽酸輸送到三廢車間處理，收集排放的廢液

13、被收集到設備V41.1.1.29，繼而用0.5MPa的氮氣壓送到三廢車間處理。4、操作步驟、操作步驟4.1開車前的準備開車前的準備4.1.1、按照工藝流程，依次對系統(tǒng)內所有設備（包括內件）、按照工藝流程，依次對系統(tǒng)內所有設備（包括內件）、管道、閥門、分析取樣點、電、管道、閥門、分析取樣點、電氣、儀器儀表、安全設施等的施工安裝進行檢查和驗收，確保其符合設計要求。氣、儀器儀表、安全設施等的施工安裝進行檢查和驗收，確保其符合設計要求。4.1.

14、2、確認公用工程、確認公用工程(供電系統(tǒng)、氫氣、氮氣、脫鹽水、壓縮空氣、循環(huán)水等供電系統(tǒng)、氫氣、氮氣、脫鹽水、壓縮空氣、循環(huán)水等)裝置均已完成試裝置均已完成試車并投入正常運行；接通所有公用工程物料的供應管線，使之處于可用狀態(tài)。燒堿（車并投入正常運行；接通所有公用工程物料的供應管線，使之處于可用狀態(tài)。燒堿（10﹪NaOH溶液）的配制。溶液）的配制。4.1.3、DCS操作系統(tǒng)準備工作：按設計條件校對所有儀表元件的位置、接管、標記及量程；操作

15、系統(tǒng)準備工作：按設計條件校對所有儀表元件的位置、接管、標記及量程；對所有調節(jié)閥逐一進行試驗調校，保證其對所控參數(shù)能作出正確反應，并在儀表空氣出現(xiàn)故障時對所有調節(jié)閥逐一進行試驗調校，保證其對所控參數(shù)能作出正確反應，并在儀表空氣出現(xiàn)故障時能正確開閉；試驗所有報警系統(tǒng)，確保其靈敏有效；對所有的安全閥進行校核、整定。能正確開閉；試驗所有報警系統(tǒng)，確保其靈敏有效；對所有的安全閥進行校核、整定。4.1.3.1、啟動儀表電源和操作員站。4.1.3.2

16、、檢查遠傳儀表和現(xiàn)場儀表是否正常。4.1.3.3、啟動各調節(jié)閥，觀察運轉是否正常。4.1.3.4、檢查各控制點設定值是否符合規(guī)定值。4.1.3.5、檢查測控點的邏輯關系是否正確。4.1.3.6、以上檢查合格，控制閥關閉待用。4.1.4、確認消防、安全、急救等設施齊全、可用。確認消防、安全、急救等設施齊全、可用。4.1.5、系統(tǒng)的吹掃和干燥、系統(tǒng)的吹掃和干燥4.1.5.1、開車前，用安全燈逐個設備檢查，有雜物積垢的應用刷子或其他方法清理干

17、凈。特別要把安裝過程中遺留下來的雜物清理干凈。4.1.5.2、用壓縮空氣逐段吹掃所有管道，除去灰塵和顆粒物。吹掃時，禁止從管道向設備中吹掃，防止顆粒等雜物吹入設備中。4.1.5.3、吹掃時拆開設備和閥門前的管道作為吹出口；管道吹凈前拆下流量計限流孔板，待管道吹凈后重新安裝。4.1.5.4、用0.5MPa.G的壓縮空氣，按流程順序逐臺設備、逐條管道吹凈（不得跨越設備、管道、閥門及工序之間的連接管道），反復多次吹掃，并用白綢于出口檢查，無污

18、物貼附其上為合格。在吹掃主管道的同時，注意吹掃相鄰的蒸汽、空氣、排污、分析取樣、儀表管等。4.1.5.5、設備最低處或死角，必要時采用人工清掃。4.1.5.6、系統(tǒng)如果有水，用熱氮氣干燥（露點達到60℃）。4.1.5.7、吹掃和干燥完成后，正確連接設備，應加或拆盲板，恢復主工藝系統(tǒng)的暢通，關閉設備上的閥門。4.1.6、氣密性實驗（以一套為例，另兩套操作類似）、氣密性實驗（以一套為例，另兩套操作類似）氣密性實驗是為了保證閥門及法蘭等的正確

19、連接，無泄漏。4.1.6.1、H2管線的氣密性實驗管線的氣密性實驗a）、用N2對氫站至合成工段H2緩沖罐的氫氣管道充壓至0.6MPa.G，對其管道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏；b）、用N2對CDI返回至合成工段H2緩沖罐的氫氣管道充壓至0.6MPa.G，對其管道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏；c）、用N2對合成工段H2緩沖罐至H2調節(jié)閥FV0202a前的氫氣管道充壓至0.6MPa.G，對其管道焊

20、接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏；4.1.6.2、氯化氫合成主系統(tǒng)的氣密試驗、氯化氫合成主系統(tǒng)的氣密試驗氣密試驗過程中，所有的管道、閥門、法蘭的焊縫、連接處，都應該用涂抹肥皂水的辦法，檢查是否泄漏；系統(tǒng)充壓完成后保壓30分鐘，壓力不下降為合格。a）、關閉HV0201a，打開HV0203a，向H2管道中通入氮氣，氣源壓力0.6MPa.G，對其管道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏。b）、打開吹掃氫主管道H1

21、10102a03a15C2CN手動閥，對其充氮檢漏。c）、打開H2調節(jié)閥FV0202a及前后手閥，關閉HV0204a、HV0205a，向R11.1.01通入氮氣，確認管路暢通，確認R11.1.01、E11.1.02、E21.1.03無內竄外漏。d）、向V11.1.05通入氮氣，確認V11.1.05無內竄外漏和其安全閥、放液閥運轉正常。e）、檢查合格，系統(tǒng)卸壓到0.05MPa.G，封閉備用。4.1.7、系統(tǒng)氣體置換系統(tǒng)氣體置換4.1.7.

22、1、打開HV0203a用0.5MPa.G氮氣充壓到0.2MPa.G，然后打開打開HV0207a卸壓到0.05MPa.G，從氯化氫吸收塔放空閥排氣，同樣操作進行三次后封閉0.05MPa.G壓力備用。4.1.7.2、氫站出口及CDI返回H2至合成工段H2緩沖罐的管道，從氫站或CDI的入口通入N2充壓至0.2MPa.G，然后打開打開H2緩沖罐的放空閥卸壓到0.05MPa.G，同樣操作進行三次后封閉0.05MPa.G壓力備用。4.1.7.3、汽

23、化工序汽化器至氯氣緩沖罐的管道，可在對氯氣緩沖罐充入氯氣時，打開其頂部至氯氣事故緩沖罐的排氣閥，用合格氯氣進行置換，置換的氯氣經(jīng)事故緩沖罐排入氯氣吸收塔進行吸收。4.1.8、檢查點火槍設施。檢查點火槍設施。4.1.8.1、氫氣和壓縮空氣的管線安裝正確，并用0.5MPaG氮氣試壓后無泄漏。4.1.8.2、電子打火設施正常。4.1.8.3、氫氣和壓縮空氣管線上的閥門啟閉正常。4.1.9、泵的試車、泵的試車（1）試車用循環(huán)水（2）應在泵的入口

24、管線上安裝臨時過濾網(wǎng)（3）封閉的水循環(huán)回路應是該系統(tǒng)可能的最長管線（4）充水的容器應放空通大氣，防止可能造成的真空（5）試車前，操作人員應熟悉泵的資料，按說明書進行操作4.1.10、把所有連鎖閥、調節(jié)閥設定為手動，并關閉。把所有連鎖閥、調節(jié)閥設定為手動，并關閉。4.2、原始開車步驟、原始開車步驟4.2.1、HCL吸收裝置開車吸收裝置開車4.2.1.1、啟動吸收塔循環(huán)冷卻水：首先開啟D11.1.1.01（D11.1.1.02備用）、D11

25、.1.1.03殼程循環(huán)冷卻水出口的手動閥，緩慢開啟入口調節(jié)閥TV0401、TV0501（開啟度50%）及全開其前后手動閥，（循環(huán)吸收液溫度TIRC0401、TIRC0501控制:45~50℃）投入自動。開啟換熱器E11.1.1.11殼程循環(huán)冷卻水出口的手動閥，緩慢開啟入口調節(jié)閥TV0601（開啟度50%）及全開其前后手動閥，（循環(huán)吸收液溫度TIRC0401、TIRC0501控制:45~50℃）投入自動。4.2.1.2、建立儲酸槽液位：開

26、啟鹽酸儲槽V11.1.1.04、V11.1.1.06、V21.1.1.09進水手閥，向其內供入來自管廊的軟水，V11.1.1.04、V11.1.1.06液位控制：將兩槽液位加到70％；Lmin=200mm、Lmax=1400mm(Lmax=1400時報警），V21.1.1.09內10﹪NaOH液位控制：將兩槽液位加到80％；Lmin=200mm、Lmax=2600mm(Lmax=2600時報警）。4.2.1.3、建立一級降膜吸收器、二級

27、降膜吸收器、HCl堿液吸收塔吸收液循環(huán):a.）、啟動調節(jié)閥FV0401a、FV0501a、FV0601a與流量計FIRC0401a、FIRC0501a、FIRC0601a，分別設定流量24.5m3h、12m3h、4m3h投入自動。b）、開啟泵P11.1.1.21、P11.1.1.23、P21.1.1.25前后相關手動閥，并啟動泵，將容器V11.1.1.04、V11.1.1.06內的軟水，V21.1.1.09內10﹪NaOH液，通過吸收塔

28、后，建立循環(huán)。4.2.2、HCL合成爐點火合成爐點火4.2.2.1、確定氫氣和氯氣系統(tǒng)已正常投入，控制氫氣和氯氣緩沖罐壓力；4.2.2.2、確定HCL吸收系統(tǒng)已正常運行；4.2.2.3、確定整個系統(tǒng)各部分已投入可正常運行；4.2.2.4、打開E21.1.03循環(huán)冷卻水；4.2.2.5、打開FV0202a前后手動閥，F(xiàn)V0202a設定開度10%，打開HV0205a，HV0207a，打開T11.1.1.08上放空閥門，再打開氮氣閥門HV02

29、03a對系統(tǒng)進行趕氣（大約半小時）4.2.2.5、啟動HCL吸收系統(tǒng)4.2.2.6、關閉HV0203a停止氮氣置換，關閉HV0205a，HV0207a，開啟HV0204a，開現(xiàn)場壓縮空氣手閥給HCL合成爐R11.1.01置換，進行空氣吹掃。將FV0202a設定為3％，打開HV0201a及FV0202a前手閥，對氫氣緩沖罐V51.1.10至爐前手閥的管線用0.5MPG氫氣進行置換，在進HCl合成爐前氫氣管線上的現(xiàn)場壓力表口子放空20分鐘后

30、，關閉HV0201a裝上現(xiàn)場壓力表；將PV0304a設為自動對V51.1.10充壓至0.48MPG，將PV0304b設為自動對白碳黑送氫氣，設定值為0.28MPG，確認還原氫化到我們這邊的調節(jié)閥是否設定為自動，設定值為0.52MPG然后開啟閥門HV0201a；確認開啟FV0202a及其前手動閥，并設定FV0202a開度為3%；充壓至爐前主氫管線上的手閥前，壓力為0.5MPG。4.2.2.7、液氯庫確認打開01V0701出口至氯氣干燥的手

31、動閥，再開啟干燥至V31.1.08氯氣緩沖罐的手動閥，打開V31.1.08進氣手動閥充壓到0.6MPG，用氨水在各法蘭、焊縫和儀表接口處檢漏，合格后打開V31.1.08至氯氣吸收塔之間的手動閥，卸壓至0.05MPG，重復兩次后，充壓至0.53MPG，打開HV0202a及FV0201a其前后手動閥，并設定FV0201a開度為7%；充壓至爐前的主氯管線上的手閥前，壓力為0.53MPG。4.2.2.8、現(xiàn)場壓縮空氣給HCL合成爐R11.1.0

32、1置換，進行空氣吹掃約20分鐘后，通知檢驗部進行取樣做爆炸性結果分析，當取樣分析合格后，關閉手動閥，停吹掃空氣；4.2.2.9、確定以上準備工作已完成，中控人員開壓縮空氣電磁閥和允許點火控制，開啟點火氫，現(xiàn)場人員現(xiàn)場啟動點火器；4.2.2.10、當點火器火焰燃燒起來后（以現(xiàn)場人員通過窺視孔能看見火焰為準），火焰檢測器工作檢測到火焰，慢慢開啟爐前主氫管線上手動閥，此時主氫燃燒，點火氫手動關閉，然后立即慢慢開啟爐前主氯管線上手動閥，保證氫氣

33、過量（火焰顏色為蒼白色），此時點火器停止打火；4.2.2.11、開啟視鏡吹掃氫；4.2.2.12、緩慢提量（原則：先氫后氯）至規(guī)定流量50﹪后，取樣分析HCL含量；4.2.2.13、HCL含量達到要求后（9597﹪），開啟HV0205a，HV0207a，關閉HV0204a，對儲罐置換，大約5分鐘后，關閉HV0207a，對R11.1.01和V11.1.05進行升壓，當壓力達到要求（開車時V11.1.05控制在0.32MPa）后，即可開啟H

34、V0208a向三氯氫硅合成提供HCL。點火失敗，必須重復4.2.39）步驟，方能重新點火。4.3、停車、停車4.3.1、正常停車（以一套系統(tǒng)為例）、正常停車（以一套系統(tǒng)為例）4.3.1.1、首先報告調度，通知制氫站停氫氣，通知液氯庫崗位，關閉液氯鋼瓶閥，以降低液氯汽化器液位。4.3.1.2、將H2調節(jié)閥FV0202a、CL2調節(jié)閥FV0201a緩慢減小開度，減少CL2，H2流量（先CL2后H2，氫過量10%），進行降量操作。（降量操作必

35、須先降氯后降氫配合操作）4.3.1.3、當SiHCl3合成爐停止反應時，打開HV0207a，關閉HV0208a，緩沖罐V11.1.05內的HCL切換到HCL吸收系統(tǒng)。4.3.1.4、當氯氣流量計FIRC0202a顯示20Nm3h時，關閉HV0202a、FV0201a。其次關閉氫氣HV0201a、FV0202a將火熄滅。4.3.1.5、開啟氮氣閥HV0203a，流量控制50~100Nm3h吹掃系統(tǒng)1個小時，關閉HV0203a。4.3.1.

36、6、系統(tǒng)壓力0.05MPa時，關閉HV0207a保持系統(tǒng)微正壓。4.3.1.7、關閉各換熱器循環(huán)冷卻水，關閉HCL吸收系統(tǒng)。若停車時間長，用泵將V11.1.1.04、V11.1.1.06酸液和V21.1.1.09內的中和液排到5#廠房處理。HCL合成系統(tǒng)Ⅱ停車步驟類似。4.3.2非正常停車非正常停車4.3.2.1、HCL合成爐緊急停車當合成工段出現(xiàn)停電、停水、重大泄露及安全事故或CDI1事故停車時：a）HCL合成爐系統(tǒng)H2（HV0201

37、a）、CL2（HV0202a)、HCL(HV0205a)自動關閉。b）同時N2（HV0203a）自動打開，廢氣由緩沖罐V11.1.05前導入HCL吸收系統(tǒng)，合成爐完成停車并與SIHCL3合成系統(tǒng)隔離。c）根據(jù)緩沖罐V11.1.05出口壓力，調節(jié)閥自動調節(jié)，加大HCL返回量，維持緩沖罐壓力，保證SIHCL3合成系統(tǒng)仍可繼續(xù)正常運行。4.3.2.2、事故停車系統(tǒng)發(fā)生一般泄漏或其它原因（設備、管道、閥門、法蘭密封墊等）時，視情況作降量保持HC

38、L合成爐內火焰或正常停車處理。4.4、HCL合成再開車合成再開車4.4.1、正常停車后的再開車、正常停車后的再開車按原始開車步驟進行開車。4.4.2、事故停車后的再開車（現(xiàn)階段不投連鎖，故暫時取消）、事故停車后的再開車（現(xiàn)階段不投連鎖，故暫時取消）4.4.2.1、HCL合成爐聯(lián)鎖停車后、緊急停車后的再開車：用氮氣吹掃系統(tǒng)（不包括H2、CL2緩沖罐）1小時，故障處理完畢后進入點火開車程序。4.4.2.2、HCL緩沖罐后聯(lián)鎖停車后的再開車：

39、故障處理完畢，根據(jù)SIHCL3合成爐溫度及系統(tǒng)具備正常開車條件后，緩慢提升H2、CL2的流量至正常生產(chǎn)值，HCL質量濃度達標后，供入SIHCL3合成爐。4.5排酸（中和液）操作排酸（中和液）操作一級降膜吸收系統(tǒng)、二級降膜吸收器系統(tǒng)、HCL吸收系統(tǒng)的排酸（中和液）操作類似，現(xiàn)以一級降膜吸收系統(tǒng)為例4.5.1、當AIRA0402檢測出D11.1.1.01的吸收鹽酸質量濃度達20%時報警。4.5.2、啟動調節(jié)閥FV0402與流量計FIC040

40、2，設定流量24.5m3h，開啟泵P11.1.1.22前后相關手動閥，并啟動泵P11.1.1.22將容器V11.1.1.05內的軟水，通過降膜吸收器D11.1.1.02建立循環(huán)。4.5.3、打開降膜吸收器D11.1.1.02進HCL閥，關閉降膜吸收器D11.1.1.01進HCL閥，打開泵P11.1.1.21出口至三廢車間的手動閥，關閉至降膜吸收器D11.1.1.01的手動閥，將20%鹽酸輸送至三廢車間，當液位200mm時，停止泵P11.

41、1.1.21，至此，排酸完成。5、控制要點、控制要點5.1管理要點5.1.1、氫氣緩沖罐的壓力。5.1.2、氯氣緩沖罐的壓力。5.1.3、HCL合成爐的壓力、溫度。5.1.4、HCL空氣冷卻器HCL出口溫度。5.1.5、HCL水冷換熱器HCL出口溫度。5.1.6、HCL儲罐壓力、出口溫度。5.1.7、石墨HCL吸收器的溫度及運轉情況。5.1.8、鹽酸儲罐的液位及鹽酸的質量情況。5.1.9、各泵的運轉情況。5.1.10、儀表、設備及管道的

42、安全使用情況。5.1.11、控制氫氣流量穩(wěn)定。5.1.12、控制氯氣流量穩(wěn)定。5.1.13、每小時取樣分析HCL含量（含量控制在95%~97%），含量主要通過調節(jié)FV0202a和FV0201a開度來進行控制。5.2、取樣分析點、取樣分析點5.2.1、HCL質量濃度分析。（剛開車1次小時或每調量一次）5.2.2、吸收HCL儲罐內鹽酸質量濃度分析。（常規(guī)1次周，開停車或事故處理則1次2小時）5.2.3、合成爐點火前爐內氣體爆炸分析。（每次點

43、火前）6、安全技術操作規(guī)程注意事項、安全技術操作規(guī)程注意事項6.1、氯氣、氯化氫都是有毒氣體，正常生產(chǎn)和檢修時，一定要正確穿戴好勞保用品。6.2、正常生產(chǎn)和檢修時，不允許氫氣、氯氣、氯化氫外溢，各種有毒氣體濃度控制在允許范圍以內。（現(xiàn)場環(huán)境：氯氣和氯化氫≤1mgm3）6.3、氫氣極易燃、易爆。與一定比例的空氣、氯氣混合能發(fā)生爆炸，點火前應對氫氣、氯氣進行安全分析。（氧含量和氫含量測定）6.4、系統(tǒng)進行維修，若需動火，必須用氮氣充分置換。

44、6.5、HCL崗位及氫氣管線10米以內嚴禁吸煙和使用明火。6.6、萬一發(fā)生爆炸、著火事故，應根據(jù)情況迅速關閉氫氣、氯氣源，對著火設備進行充氮置換，或用二氧化碳封閉滅火。6.7、點火失敗，必須重復7.2.2點火準備8）步驟，方能重新點火。6.8、經(jīng)常檢查儀表、設備、管道的易損件和易損部位，并及時更換，防止安全隱患擴大。6.9、儀表調節(jié)閥在投入自動前。必須先用手動調節(jié)至接近正常值時，才能切換為自動控制，防止對設備造成沖擊。6.10、儀表空氣

45、氣源故障，按緊急停車處理。6.11、設備排空時的產(chǎn)品和取樣的廢水排至容器地槽V41.1.1.29出該容器的廢水靠壓力為0.5MPa的氮氣送到5#廠房廢物處理。7、常見故障處理措施、常見故障處理措施若火焰非正常熄滅，應盡快找出具體原因及時排除故障，一般原因有：7.1、合成爐壓力升高，溫度發(fā)生變化，系統(tǒng)故障聯(lián)鎖控制啟動。（現(xiàn)階段聯(lián)鎖取消）7.2、氫氣、氯氣原料供應不足，壓力明顯下降。7.3、系統(tǒng)出現(xiàn)有堵塞現(xiàn)象，表現(xiàn)為系統(tǒng)壓力增大。7.4、氫

46、氣、氯氣流量配比失衡，尤其HCL提量降量時。防爆膜破裂：合成爐內形成爆炸性混合物氣體，發(fā)生爆炸，壓力增大破裂（合成爐內壓力超過0.625MPa），且應每年一次更換防爆膜，超期使用會使其承壓能力下降，導致正常壓力也出現(xiàn)破裂。7.5、閥門開關失控或內漏。根據(jù)情況及時更換或維修處理。7.6、停電：按緊急停車處理，關閉氫氣、氯氣進氣閥，關閉HCL進SiHCL3合成爐控制閥，關閉CDI至HCL控制閥，打開吹掃氮氣進氣閥及至HCL吸收裝置控制閥。（

47、現(xiàn)階段CDI回收HCL用氮氣中和放空）7.7、系統(tǒng)設備、管道發(fā)生泄露，應根據(jù)情況采取隔斷、放空或停爐處理，并及時報告上級，防止事態(tài)擴大。7.8、當氯氣緩沖罐V31.1.08壓力高于1.6MPa時安全閥動作（一開一備），廢氣排至廢氯處理罐，繼而送到液氯庫的廢氣處理塔吸收處理。8、圖、圖液氯庫氯氣緩沖罐電解氫氫氣緩沖罐CDI返回的氫阻火器HCL合成爐空氣冷卻器水冷卻器HCL儲氣罐HCL加熱器SiHCL3合成爐CDI返回的HCLHCL吸收裝置

48、三廢處理廠房空氣冷卻器事故HCL緩沖罐罐文件名組織機構和職責范圍文件編號QEONBYCZD16062011（A0）頁碼382、原材料及產(chǎn)品質量指標、原材料及產(chǎn)品質量指標2.1、原料質量指標、原料質量指標名稱品種規(guī)格消耗量噸年備注氯氣氯%（體積）≥99.8水和其它含氧雜質%（質量）≤0.015.三氯化氮%（質量）≤0.002不揮發(fā)的殘余物%（質量）≤0.0159573符合GBT51381966標準的優(yōu)質品氫氣1氫%（質量）≥99.9972

49、氧%（質量）≤0.0033露點60℃286（原始氫4%，循環(huán)氫282）2.2、產(chǎn)品質量指標、產(chǎn)品質量指標2.2.1、合成、合成HCL質量指標（體積）質量指標（體積）HCL含量：95~97%H2含量：3~5%無游離氯（含量小于20ppm）水分含量≤200ppm2.2.2、CDI回收回收HCL質量指標（體積）質量指標（體積）HCL含量：≥95%H2含量：≤5%氯硅烷含量：≤0.5%2.3、技術經(jīng)濟指標、技術經(jīng)濟指標產(chǎn)能（按70%）：合成HC

50、L9859Ta消耗CL2：9573Ta消耗H2：286Ta（其中補充氫4T；循環(huán)氫282T）3、工作原理、工作原理3.1HCL、合成工藝原理、合成工藝原理HCL的合成是采用氫氣在氯氣中不爆炸燃燒的條件下進行的方法來制備：反應式：H2CL2=HCL反應的發(fā)生需要一定的前提條件，即提供一定的能量，在光照或加熱的情況下，二者能迅速反應，釋放出大量的熱。3.2、工藝流程、工藝流程3.2.1、工藝流程說明（附工藝流程圖）、工藝流程說明（附工藝流程

51、圖）氯化氫合成是由三套相同的合成爐系統(tǒng)，氫氣、氯氣緩沖罐，事故排放接收設備組成（其中H2、CL2緩沖罐及事故排放裝置為三套合成爐系統(tǒng)共用）3.2.1.1、原料、原料外購液氯汽化后，到緩沖罐01V0701，經(jīng)干燥后由管道輸送至氯氣緩沖罐V31.1.08。氫氣來自制氫廠房及CDI裝置，由管道輸送至緩沖罐V51.1.10。3.2.1.2、HCL吸收吸收為了吸收合成爐R11.1.01、R11.1.011、R11.1.012安全薄膜閥動作時的事故

52、廢氣，以及合成爐開停車或不合格的廢氣，設置HCL吸收裝置。系統(tǒng)由兩臺（一開一備）一級降膜吸收器D11.1.1.01、D11.1.1.02，一臺二級降膜吸收器D11.1.1.03，HCL吸收塔T11.1.1.08，儲罐容器V11.1.1.04、V11.1.1.05、V11.1.1.06、V11.1.1.07、V21.1.1.09、V21.1.1.10、收集罐V41.1.1.29和換熱器E11.1.1.11，泵P11.1.1.2122，P1

53、1.1.1.2324，P21.1.1.2526等組成，充分吸收HCL后，尾氣經(jīng)T11.1.1.08排空，制得20%以下的鹽酸輸送到三廢車間處理，收集排放的廢液被收集到設備V41.1.1.29，繼而用0.5MPa的氮氣壓送到三廢車間處理。4、操作步驟、操作步驟4.1開車前的準備開車前的準備4.1.1、按照工藝流程，依次對系統(tǒng)內所有設備（包括內件）、按照工藝流程，依次對系統(tǒng)內所有設備（包括內件）、管道、閥門、分析取樣點、電氣、儀器、管道、閥

54、門、分析取樣點、電氣、儀器儀表、安全設施等的施工安裝進行檢查和驗收，確保其符合設計要求。儀表、安全設施等的施工安裝進行檢查和驗收，確保其符合設計要求。4.1.2、確認公用工程、確認公用工程(供電系統(tǒng)、氫氣、氮氣、脫鹽水、壓縮空氣、循環(huán)水等供電系統(tǒng)、氫氣、氮氣、脫鹽水、壓縮空氣、循環(huán)水等)裝置均已完成試車并投裝置均已完成試車并投入正常運行；接通所有公用工程物料的供應管線，使之處于可用狀態(tài)。燒堿（入正常運行；接通所有公用工程物料的供應管線，

55、使之處于可用狀態(tài)。燒堿（10﹪NaOH溶液）的配溶液）的配制。制。4.1.3、DCS操作系統(tǒng)準備工作：按設計條件校對所有儀表元件的位置、接管、標記及量程；對所有操作系統(tǒng)準備工作：按設計條件校對所有儀表元件的位置、接管、標記及量程；對所有調節(jié)閥逐一進行試驗調校，保證其對所控參數(shù)能作出正確反應，并在儀表空氣出現(xiàn)故障時能正確開閉；調節(jié)閥逐一進行試驗調校，保證其對所控參數(shù)能作出正確反應，并在儀表空氣出現(xiàn)故障時能正確開閉；試驗所有報警系統(tǒng)，確保其

56、靈敏有效；對所有的安全閥進行校核、整定。試驗所有報警系統(tǒng)，確保其靈敏有效；對所有的安全閥進行校核、整定。4.1.3.1、啟動儀表電源和操作員站。4.1.3.2、檢查遠傳儀表和現(xiàn)場儀表是否正常。4.1.3.3、啟動各調節(jié)閥，觀察運轉是否正常。4.1.3.4、檢查各控制點設定值是否符合規(guī)定值。4.1.3.5、檢查測控點的邏輯關系是否正確。4.1.3.6、以上檢查合格，控制閥關閉待用。4.1.4、確認消防、安全、急救等設施齊全、可用。確認消防

57、、安全、急救等設施齊全、可用。4.1.5、系統(tǒng)的吹掃和干燥、系統(tǒng)的吹掃和干燥4.1.5.1、開車前，用安全燈逐個設備檢查，有雜物積垢的應用刷子或其他方法清理干凈。特別要把安裝過程中遺留下來的雜物清理干凈。4.1.5.2、用壓縮空氣逐段吹掃所有管道，除去灰塵和顆粒物。吹掃時，禁止從管道向設備中吹掃，防止顆粒等雜物吹入設備中。4.1.5.3、吹掃時拆開設備和閥門前的管道作為吹出口；管道吹凈前拆下流量計限流孔板，待管道吹凈后重新安裝。4.1.

58、5.4、用0.5MPa.G的壓縮空氣，按流程順序逐臺設備、逐條管道吹凈（不得跨越設備、管道、閥門及工序之間的連接管道），反復多次吹掃，并用白綢于出口檢查，無污物貼附其上為合格。在吹掃主管道的同時，注意吹掃相鄰的蒸汽、空氣、排污、分析取樣、儀表管等。4.1.5.5、設備最低處或死角，必要時采用人工清掃。4.1.5.6、系統(tǒng)如果有水，用熱氮氣干燥（露點達到60℃）。4.1.5.7、吹掃和干燥完成后，正確連接設備，應加或拆盲板，恢復主工藝系統(tǒng)

59、的暢通，關閉設備上的閥門。4.1.6、氣密性實驗（以一套為例，另兩套操作類似）、氣密性實驗（以一套為例，另兩套操作類似）氣密性實驗是為了保證閥門及法蘭等的正確連接，無泄漏。4.1.6.1、H2管線的氣密性實驗管線的氣密性實驗a）、用N2對氫站至合成工段H2緩沖罐的氫氣管道充壓至0.6MPa.G，對其管道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏；b）、用N2對CDI返回至合成工段H2緩沖罐的氫氣管道充壓至0.6MPa.G，對其管

60、道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏；c）、用N2對合成工段H2緩沖罐至H2調節(jié)閥FV0202a前的氫氣管道充壓至0.6MPa.G，對其管道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏；4.1.6.2、氯化氫合成主系統(tǒng)的氣密試驗、氯化氫合成主系統(tǒng)的氣密試驗氣密試驗過程中，所有的管道、閥門、法蘭的焊縫、連接處，都應該用涂抹肥皂水的辦法，檢查是否泄漏；系統(tǒng)充壓完成后保壓30分鐘，壓力不下降為合格。a）、關閉HV0201

61、a，打開HV0203a，向H2管道中通入氮氣，氣源壓力0.6MPa.G，對其管道焊接處、閥門和法蘭的焊縫及連接處涂抹肥皂水進行檢漏。b）、打開吹掃氫主管道H110102a03a15C2CN手動閥，對其充氮檢漏。c）、打開H2調節(jié)閥FV0202a及前后手閥，關閉HV0204a、HV0205a，向R11.1.01通入氮氣，確認管路暢通，確認R11.1.01、E11.1.02、E21.1.03無內竄外漏。d）、向V11.1.05通入氮氣，確認

62、V11.1.05無內竄外漏和其安全閥、放液閥運轉正常。e）、檢查合格，系統(tǒng)卸壓到0.05MPa.G，封閉備用。4.1.7、系統(tǒng)氣體置換系統(tǒng)氣體置換4.1.7.1、打開HV0203a用0.5MPa.G氮氣充壓到0.2MPa.G，然后打開打開HV0207a卸壓到0.05MPa.G，從氯化氫吸收塔放空閥排氣，同樣操作進行三次后封閉0.05MPa.G壓力備用。4.1.7.2、氫站出口及CDI返回H2至合成工段H2緩沖罐的管道，從氫站或CDI的入

63、口通入N2充壓至0.2MPa.G，然后打開打開H2緩沖罐的放空閥卸壓到0.05MPa.G，同樣操作進行三次后封閉0.05MPa.G壓力備用。4.1.7.3、汽化工序汽化器至氯氣緩沖罐的管道，可在對氯氣緩沖罐充入氯氣時，打開其頂部至氯氣事故緩沖罐的排氣閥，用合格氯氣進行置換，置換的氯氣經(jīng)事故緩沖罐排入氯氣吸收塔進行吸收。4.1.8、檢查點火槍設施。檢查點火槍設施。4.1.8.1、氫氣和壓縮空氣的管線安裝正確，并用0.5MPaG氮氣試壓后無